半導(dǎo)體、光子學(xué)及顯微成像行業(yè)需要穩(wěn)定可靠的高性能解決方案，以實現(xiàn)納米級精密定位與對準(zhǔn)。Physik Instrumente （PI）公司的PIHera?XY壓電陶瓷平臺，在緊湊空間內(nèi)將亞納米級分辨率、高穩(wěn)定性與靈活行程完美結(jié)合于一體。

文 / PI 普愛納米位移技術(shù)（上海）有限公司

1  XY壓電陶瓷平臺：穩(wěn)定運動，優(yōu)異精度

   需要納米級超精密運動與長行程？——PIHera?XY位移 平臺將長行程范圍與優(yōu)異分辨率融合在緊湊型柔性鉸鏈設(shè) 計中。
· 高動態(tài)性能，助力高頻應(yīng)用實現(xiàn)高效生產(chǎn)；
· 采用零游隙柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，確保優(yōu)異精度與長期 穩(wěn)定性；
· 熱門型號快速交付，滿足緊急項目需求。

2  緊湊型定位系統(tǒng)，實現(xiàn)超精密運動與長期 穩(wěn)定性能

半導(dǎo)體、光子學(xué)及顯微成像行業(yè)需要穩(wěn)定可靠的高性 能解決方案，以實現(xiàn)納米級精密定位與對準(zhǔn)。
Physik Instrumente（PI）公司的PIHera?XY壓電陶瓷 平臺，在緊湊空間內(nèi)將亞納米級分辨率、高穩(wěn)定性與靈活 行程完美結(jié)合。精選型號支持快速交付，配套控制器同步 供應(yīng)。
· 超精密定位精度
基于高品質(zhì)電容傳感器，實現(xiàn)亞納米級定位精度，兼 具高重復(fù)性與優(yōu)異穩(wěn)定性。零游隙柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，實 現(xiàn)高導(dǎo)向精度;
· 靈活應(yīng)用 快速交付
P-621.2CD、P-622.2CD、P-625.2CD及P-628.2CD型 號的XY壓電陶瓷平臺提供120μm至1000μm的行程范圍， 適應(yīng)場景廣泛。例如在半導(dǎo)體與光子學(xué)領(lǐng)域，這些平臺可 用于干涉測量（以對準(zhǔn)激光系統(tǒng)或光學(xué)部件）或晶圓檢 測。XY位移平臺也被廣泛應(yīng)用于顯微成像領(lǐng)域，實現(xiàn)樣本 與物體的納米級精確定位與穩(wěn)定；
· 交貨周期短，可確保時效性項目的高效執(zhí)行。

3  PIHera? XY壓電陶瓷平臺常見問題

提問1：哪些參數(shù)使PIHera?成為高分辨納米級定位的 理想選擇？
A：PIHera?壓電陶瓷平臺提供低至0.1nm的分辨率， 定位精度可達(dá)0.02%。其高分辨率、亞納米級精度、優(yōu)異可 靠性、長期穩(wěn)定性與快速響應(yīng)特性，使之成為嚴(yán)苛應(yīng)用的理 想解決方案。
提問2：PIHera?壓電陶瓷平臺精選型號有哪些行程范 圍可選？
A： PIHera?壓電陶瓷平臺精選型號提供120μm至 1000μm的行程范圍，而PIHera壓電陶瓷平臺全系列產(chǎn)品的 行程范圍覆蓋50μm至1800μm，為廣泛應(yīng)用場景提供多樣化 選擇。
提問3： PIHera?壓電陶瓷平臺是否適用于嚴(yán)苛環(huán)境 條件？
A：PIHera?壓電陶瓷平臺專為應(yīng)對振動及溫度波動等 環(huán)境挑戰(zhàn)而設(shè)計，適用于半導(dǎo)體、光子學(xué)、生物技術(shù)和質(zhì)量 檢測等多領(lǐng)域應(yīng)用。
提問4：PIHera?壓電陶瓷平臺適用于哪些應(yīng)用場景？
A：PIHera?壓電陶瓷平臺尤其適合需要超精密定位與 高分辨率的高精度應(yīng)用場景，如光纖定位、測試流程、干涉 測量及顯微成像等。

                                                PIHera? XY 位移平臺：可變行程范圍，實現(xiàn)納米級精密定位與對準(zhǔn)。