MOCVD設(shè)備可被用于LED、功率器件等多個(gè)領(lǐng)域，是LED芯片生產(chǎn)過程中最為關(guān)鍵的設(shè)備，其工藝、技術(shù)極為復(fù)雜。本文 簡要介紹了采用固高伺創(chuàng)GSHD系列伺服驅(qū)動(dòng)器，配合磁流體電機(jī)的MOCVD設(shè)備控制系統(tǒng)。

文 / 固高伺創(chuàng)驅(qū)動(dòng)技術(shù)（深圳）有限公司

     工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)革命以來，半導(dǎo)體成為了許多工業(yè)整機(jī)設(shè)備 的核心，普遍應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、消費(fèi)電子、網(wǎng)絡(luò)通信、汽車電 子等重點(diǎn)領(lǐng)域。MOCVD設(shè)備可被用于LED、功率器件等多 個(gè)領(lǐng)域，是LED芯片生產(chǎn)過程中最為關(guān)鍵的設(shè)備。
     MOCVD全稱是Metal-Organic Chemical Vapour Deposition（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備），是在基板上生 長半導(dǎo)體薄膜的一種技術(shù)。利用MOCVD技術(shù)，納米層可以 以極高的精度在晶圓表面沉積，每一層都具有可控的厚度， 形成具有特定光學(xué)和電學(xué)特性的覆蓋材料。MOCVD是用于 LED芯片和功率器件制造的關(guān)鍵工藝技術(shù)。經(jīng)過近二十年的 持續(xù)發(fā)展，MOCVD成為了目前半導(dǎo)體化合物材料制備的關(guān) 鍵技術(shù)之一，被廣泛應(yīng)用于包括半導(dǎo)體器件、光學(xué)器件、氣 敏元件、超導(dǎo)薄膜材料、鐵電/鐵磁薄膜、高介電材料等多 種薄膜材料的制備。
     國產(chǎn)化MOCVD設(shè)備采用固高伺創(chuàng)自主研發(fā)的GSHD系 列高性能伺服驅(qū)動(dòng)器，配合國產(chǎn)磁流體電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)口 設(shè)備的原位替換，并提升工藝控制的易用性與安全性。

1 MOCVD設(shè)備對(duì)控制系統(tǒng)的要求

    通過Modbus TCP 協(xié)議發(fā)送指令到驅(qū)動(dòng)器，支持 MODBUS-TCP報(bào)文結(jié)構(gòu)（由MBAP+PDU組成）。

? 事務(wù)標(biāo)識(shí)符是報(bào)文的序列號(hào)，主要用于請(qǐng)求/響應(yīng)匹 配，客戶端每發(fā)送一次新請(qǐng)求會(huì)自動(dòng)遞增，服務(wù)器接收時(shí)會(huì) 把這個(gè)數(shù)據(jù)原封返回；

? 協(xié)議標(biāo)識(shí)的固定值是Modbus-TCP標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議標(biāo)識(shí)的 0x0000；
? 長度是從單元標(biāo)識(shí)符開始至報(bào)文結(jié)尾的字節(jié)數(shù)，單位 字節(jié)；
? 單元標(biāo)識(shí)符為設(shè)備站號(hào)標(biāo)識(shí)，用于多設(shè)備總線尋址， 驅(qū)動(dòng)器配置方式是通過硬件撥碼開關(guān)來設(shè)定。
②PDU（幀結(jié)構(gòu)）如下：

2 MOCVD設(shè)備伺服控制系統(tǒng)技術(shù)方案

本系統(tǒng)采用固高伺創(chuàng)GSHD系列高性能伺服驅(qū)動(dòng)器配合 磁流體電機(jī)，構(gòu)成高性能運(yùn)動(dòng)控制解決方案，主要技術(shù)特點(diǎn) 如下：

? 高速通信性能：支持Modbus通訊協(xié)議，確?？刂浦?令的實(shí)時(shí)傳輸，采用Modbus TCP控制功能，實(shí)現(xiàn)高速數(shù)據(jù) 交互；
? 精密運(yùn)動(dòng)控制：磁流體DD馬達(dá)高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)速度波動(dòng) ±0.5rpm，具備優(yōu)化的加減速曲線算法，確保運(yùn)動(dòng)過程平穩(wěn)；
? 安全控制功能：具備無急停配置下的智能停機(jī)功能，支 持通過數(shù)字I/O界面靈活配置停機(jī)模式（保持使能/下使能）；
? 系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)明顯：性能穩(wěn)定可靠，綜合性價(jià)比優(yōu)異；
? 多種應(yīng)用場景：MOCVD設(shè)備、MiniLED設(shè)備。