如何實(shí)現(xiàn)高精度多軸同步的 半導(dǎo)體設(shè)備運(yùn)動(dòng)控制

　　1 龍門平臺(tái)：實(shí)現(xiàn)微秒級(jí)多軸同步控制

　　半導(dǎo)體設(shè)備中廣泛使用的龍門結(jié)構(gòu)，其核心挑戰(zhàn)在于實(shí)現(xiàn)雙軸乃至多軸之間的精準(zhǔn)同步。傳統(tǒng)方案將同步算法置于上層控制器，受制于總線通信延遲，性能存在瓶頸。Elmo創(chuàng)新性地將龍門控制算法底層植入驅(qū)動(dòng)器層面，實(shí)現(xiàn)了“執(zhí)行層同步”。

　　此舉徹底消除了通信延遲帶來的誤差，使得雙軸能夠在微秒級(jí)周期內(nèi)實(shí)現(xiàn)完全同步。配合新一代Titanium系列多軸驅(qū)動(dòng)器，系統(tǒng)甚至無需外部接線，在硬件內(nèi)部即可完成閉環(huán)控制。

　　2 賦能高動(dòng)態(tài)設(shè)備：突破動(dòng)態(tài)性能上限

　　對(duì)于貼片機(jī)、點(diǎn)膠機(jī)、晶圓傳輸平臺(tái)等高動(dòng)態(tài)設(shè)備， Titanium系列驅(qū)動(dòng)器因采用了氮化鎵(GaN)與碳化硅(SiC)為代表的第三代半導(dǎo)體工藝，使得產(chǎn)品開關(guān)頻率與伺服電流環(huán)響應(yīng)速度上取得突破性進(jìn)展。更高的開關(guān)頻率帶來更平滑的轉(zhuǎn)矩輸出與更低的諧波損耗，而電流環(huán)響應(yīng)能力的提升則直接增強(qiáng)了系統(tǒng)在高速高精場(chǎng)景下的動(dòng)態(tài)性能。

　　3 定制服務(wù)：將算法寫進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

　　面對(duì)愈加靈活、柔性的生產(chǎn)模式， Elmo支持深度定制化開發(fā)，例如根據(jù)韓國(guó)半導(dǎo)體客戶的需求推薦使用的四軸一體化驅(qū)動(dòng)器Platinum Solo Quartet，該產(chǎn)品將控制功能完全集成于驅(qū)動(dòng)器內(nèi)，無需外置控制器即可實(shí)現(xiàn)復(fù)雜軌跡規(guī)劃。

　　更重要的是，Elmo提供了開放的軟件開發(fā)環(huán)境，支持客戶將專有算法，如固晶機(jī)中的“力位混合控制”直接寫入驅(qū)動(dòng)器。這一功能使設(shè)備商能夠打造具備自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的控制系統(tǒng)，形成差異化競(jìng)爭(zhēng)力。

　　4 精準(zhǔn)控制：讓“視覺+運(yùn)動(dòng)”更簡(jiǎn)單

　　在半導(dǎo)體前道檢測(cè)、晶圓對(duì)位等制造環(huán)節(jié)，精準(zhǔn)定位始終是核心挑戰(zhàn)。 Elmo此次發(fā)布的運(yùn)動(dòng)控制器Titanium Maestro與上一代采用ARM平臺(tái)的產(chǎn)品不同，全面轉(zhuǎn)向x86架構(gòu)，顯著提升CPU與GPU的綜合算力，并首次在控制器層級(jí)通過算法支持視覺處理，使得設(shè)備能夠在本地直接完成圖像識(shí)別、定位與軌跡規(guī)劃任務(wù)，無需依賴外接工控機(jī)。

　　從龍門同步到視覺控制，從系統(tǒng)整合到深度定制， Elmo構(gòu)建了覆蓋半導(dǎo)體制造全流程的高性能控制單元體系，并持續(xù)助力客戶在轉(zhuǎn)型過程中穩(wěn)步提升設(shè)備性能與智能化水平。