PI 應(yīng)用 生產(chǎn)級(jí)別晶圓探測(cè)和光子學(xué)測(cè)試

　　硅光子學(xué)在推動(dòng)諸如量子計(jì)算、納米衛(wèi)星、光探測(cè)和 測(cè)距(激光雷達(dá))以及光學(xué)邏輯等尖端技術(shù)的發(fā)展方面起著 至關(guān)重要的作用。此外，硅光子學(xué)的應(yīng)用還能夠提高數(shù)據(jù)處 理、存儲(chǔ)和傳輸方面的性能。這些技術(shù)給測(cè)試和封裝過程帶 來了很多挑戰(zhàn)，特別是在具有高潔凈度要求的高產(chǎn)量生產(chǎn)環(huán) 境中光纖器件的對(duì)準(zhǔn)方面。

　　該運(yùn)動(dòng)解決方案的主要特點(diǎn)包括：

　　? 生產(chǎn)級(jí)別自動(dòng)化光子學(xué)對(duì)準(zhǔn);

　　? 生產(chǎn)效率提高百倍;

　　? 全天候運(yùn)行，性能可靠;

　　? 適用于極其潔凈的環(huán)境;

　　? 降低擁有成本;

　　? 優(yōu)化任何品質(zhì)因數(shù)。

　　1 XYZ軸：光纖到光纖或光纖到波導(dǎo)對(duì)準(zhǔn)

　　?無摩擦、免維護(hù)空氣軸承設(shè)計(jì)，用于全天候高占空比應(yīng)用;

　　? 音圈直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)運(yùn)行、高動(dòng)態(tài)和快速步 進(jìn)與穩(wěn)定;

　　? 集成直線光柵尺，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確定位;

　　? 創(chuàng)新緊湊的XYZ設(shè)計(jì)，節(jié)省集成空間;

　　? 集成Z軸平衡裝置，可實(shí)現(xiàn)垂直操作，同時(shí)將對(duì)平臺(tái)外 形的影響降至最低;

　　? 主要平臺(tái)：帶空氣軸承的A-142 PIglide音圈線性平 臺(tái)、A-143 PIglide小型線性空氣軸承平臺(tái)。

　　2 θZ軸：光子器件的精密旋轉(zhuǎn)定位(可選)

　　? 高精度且可重復(fù)的360 旋轉(zhuǎn)，無空回;

　　? 采用直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)技術(shù)，運(yùn)行平穩(wěn)而精密，無齒槽效應(yīng);

　　? 高動(dòng)態(tài)無刷力矩電機(jī);

　　? 高精度絕對(duì)或增量編碼器選配件;

　　? 低外形設(shè)計(jì)，節(jié)省集成空間。

　　3 用戶友好且靈活的自動(dòng)化控制

　　? 采用基于ACS的集成對(duì)準(zhǔn)算法的高性能工業(yè)控制器;

　　? 專有固件提供用于第一束光檢測(cè)的快速區(qū)域掃描算法， 以及用于峰值耦合的梯度和質(zhì)心算法;

　　? 軟件支持常見操作系統(tǒng)以及多種編程語言(包括 MATLAB、Python、C#和NI LabVIEW);

　　? 主要產(chǎn)品：A-81x PIglide運(yùn)動(dòng)控制器。

　　PI提供了基于不同電機(jī)、導(dǎo)向和傳感器技術(shù)的先進(jìn)運(yùn) 動(dòng)解決方案，可實(shí)現(xiàn)全天候的快速自動(dòng)化運(yùn)行。這些解決 方案輔以獨(dú)特的專有對(duì)準(zhǔn)算法，可并行優(yōu)化任何品質(zhì)因數(shù) (FoM)，從而將生產(chǎn)效率提高百倍以上。