目前為世人熱議的趙彬團隊就是為中國半導(dǎo)體芯片事業(yè)獻出力量的一支活力隊伍。

從無到有中國科研勇往直前

中國每年進口芯片超過2000多億美元，總值已經(jīng)超過石油、糧食等。對于中國智造來說，芯片不僅意味著決定著設(shè)備的運行，還決定著產(chǎn)業(yè)的國際分工角色，甚至是國家在國際上的科技影響力?？上驳氖?，科技產(chǎn)業(yè)近年來在國內(nèi)風生水起，整個終端產(chǎn)品的制造環(huán)節(jié)更是占到了全球80%以上的份額，但就產(chǎn)業(yè)鏈上游的芯片而言，中國企業(yè)需要突破的關(guān)鍵技術(shù)還有不少難關(guān)。但是功夫不負有心人，著名科學研究者趙彬帶領(lǐng)其研發(fā)團隊實現(xiàn)了第一塊中國制造半導(dǎo)體芯片靶材研發(fā)成功，填補了中國濺射靶材工藝的空白，如今每天產(chǎn)量為500公斤，這看似不起眼的產(chǎn)量背后凝聚著科研人員日夜的心血。

那么究竟何為濺射靶材呢?濺射靶材是制造半導(dǎo)體芯片所必需的一種極其重要的關(guān)鍵材料，其原理是采用物理氣相沉積技術(shù)(PVD)，用高壓加速氣態(tài)離子轟擊靶材，使靶材的原子被濺射出，以薄膜的形式沉積到硅片上，最終形成半導(dǎo)體芯片中復(fù)雜的配線結(jié)構(gòu)，金屬靶材的金屬原子被一層層建設(shè)到芯片上，再利用特殊的工藝把它們切割成金屬導(dǎo)線，芯片的信息傳輸全靠這些金屬導(dǎo)線。濺射靶材以超高純金屬(鋁、鈦、銅、鉭等)為原料，具有金屬鍍膜的均勻性、可控性等諸多優(yōu)勢，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，為了進一步了解半導(dǎo)體芯片靶材研發(fā)及濺射靶材工藝的創(chuàng)造價值，記者與趙彬老師進行了深入的交談。

掌握核心科技 擁有發(fā)展主動權(quán)

在交談中趙彬老師就制造過程、未來發(fā)展、時代價值等疑問給予了詳盡的回復(fù)。首先在制造過程的問題上，趙彬老師坦言：“濺射靶材工藝的研發(fā)之路非常艱辛，從制造到關(guān)鍵的大設(shè)備都是自行設(shè)計的，擁有自己的知識產(chǎn)權(quán)，工廠整體投資6億元，做到了國內(nèi)人無我有的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢?！爱斢浾咛釂柕罏楹尾徊捎脟獬墒旒夹g(shù)和機械時，趙彬老師則笑談：“之所以未采用全進口，且不說人家賣不賣，即使能買來全部造價也要高達20億元，核心裝備受制于人，產(chǎn)品競爭力無從談起，也就失去了不受制于人的時代價值。

” 談及發(fā)展，趙彬老師則表示，從數(shù)據(jù)來看目前超純鈦產(chǎn)品每月產(chǎn)出只有3～5噸，不少手機、平板電腦生產(chǎn)商已采用了其團隊生產(chǎn)的靶材產(chǎn)品，銷量喜人。但是從長遠角度看，還不能滿足市場的需求，未來將面臨巨大的產(chǎn)能壓力，故趙彬老師提出預(yù)計在未來的三年時間，國內(nèi)所需要的超高純鈦每年要達到250～300噸，將采用與跨國公司合作的方式，及激發(fā)自身產(chǎn)能的規(guī)劃。