在電動(dòng)汽車、人工智能和通信技術(shù)飛速發(fā)展的今天，半導(dǎo)體芯片已成為高科技產(chǎn)業(yè)的核心驅(qū)動(dòng)力，而半導(dǎo)體設(shè)備作為芯片制造的基石，正成為全球科技競(jìng)爭(zhēng)的戰(zhàn)略制高點(diǎn)。作為信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)支柱，半導(dǎo)體設(shè)備不僅決定著芯片制造的工藝水平，更直接關(guān)系到國家科技競(jìng)爭(zhēng)力與產(chǎn)業(yè)鏈安全。在這一背景下，倍?；?/span> PC 的控制技術(shù)為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)中的整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈提供了完整的控制解決方案，這一方案全面涵蓋了從前端晶圓加工到后道工藝芯片封裝的各個(gè)環(huán)節(jié)，助力中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)實(shí)現(xiàn)新一輪的產(chǎn)業(yè)變革。

半導(dǎo)體行業(yè)困局

l如何在摩爾定律持續(xù)演進(jìn)的情況下，對(duì)設(shè)備精度和性能提出更高要求？

l如何滿足半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)突破路徑呈現(xiàn)出多元化和差異化特征？

l如何助力半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)從單機(jī)臺(tái)突破創(chuàng)新到平臺(tái)式創(chuàng)新的轉(zhuǎn)變？

倍福為半導(dǎo)體行業(yè)用戶破局——

（1）EtherCAT ：快速、開放、享譽(yù)全球

EtherCAT 是倍福的超高速工業(yè)以太網(wǎng)技術(shù)。自 2003 年以來，它在速度和同步精度方面樹立了新的標(biāo)準(zhǔn)，如今已被認(rèn)為半導(dǎo)體行業(yè)的全球標(biāo)準(zhǔn)。

l超高速、可靠的通信標(biāo)準(zhǔn)

l保持技術(shù)的永久兼容性

l專為極端嚴(yán)苛應(yīng)用環(huán)境量身打造的創(chuàng)新解決方案

（2）XPlanar平面磁懸浮輸送系統(tǒng)：高度靈活的晶圓輸送

有了 XPlanar，用戶的生產(chǎn)部件可以在一個(gè)工具內(nèi)以及在幾臺(tái)設(shè)備間以自由懸浮的方式輸送：它具有高動(dòng)態(tài)性，且無抖動(dòng)，同時(shí)提供最高精度和前所未有的移動(dòng)靈活性。

l自由懸浮的動(dòng)子，能夠以最大 2 m/s 的速度無抖動(dòng)地輸送零件

l平面模塊可以自由拼接成任意幾何形狀的傳輸平面

l實(shí)現(xiàn)靈活的零件輸送，擺脫固定工位序列的束縛

（3）EtherCAT 插拔式模塊及測(cè)量模塊：降低成本

倍福產(chǎn)品系列全方位滿足半導(dǎo)體行業(yè)的所有型號(hào)采集需求：從每秒測(cè)量一次到每秒測(cè)量數(shù)千次，從電壓和電流測(cè)量到溫度和壓力測(cè)量。而倍福的 I/O 專業(yè)技術(shù)可以更高效地幫助您打造出適用于批量生產(chǎn)的自動(dòng)化系統(tǒng)。

lEJ系列 EtherCAT 模塊 | 插拔式設(shè)計(jì)便捷高效，緊湊、取代了復(fù)雜、專用的 I/O 信號(hào)板，并且消除了錯(cuò)誤接線的風(fēng)險(xiǎn)

lELM系列 | 高端測(cè)量模塊被集成到 EtherCAT I/O 系統(tǒng)中，在記錄過程關(guān)鍵測(cè)量通道數(shù)據(jù)時(shí)也表現(xiàn)出極高的可靠性。

l TwinCAT Scope | 能夠以圖形化方式精確顯示個(gè)位數(shù)微秒范圍內(nèi)的測(cè)量信號(hào)

（4）TwinSAFE全集成安全解決方案：為EtherCAT系統(tǒng)量身定制的安全解決方案

倍福的 TwinSAFE 為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)量身定制的安全解決方案，打破了控制技術(shù)領(lǐng)域長期存在的“安全功能”和“非安全功能”分離局面，在實(shí)施過程中表現(xiàn)出高度靈活性和可擴(kuò)展性。有了 TwinSAFE，就能夠根據(jù)不同的應(yīng)用需求與實(shí)施方式，將各種所需的安全功能靈活地集成到任何控制架構(gòu)之中。最后可以根據(jù)您的具體需求量身定制完整的安全解決方案。

l為實(shí)施定制化安全應(yīng)用提供全面的軟件支持

lSafety over EtherCAT  助力實(shí)現(xiàn)開放性和靈活性

l適用于所有應(yīng)用領(lǐng)域的 TwinSAFE 邏輯的組件

（5）針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的中央控制解決方案：實(shí)現(xiàn)高度模塊化設(shè)計(jì)以及多功能性

基于 PC 的控制技術(shù)使用可滿足各種性能等級(jí)需求的工業(yè) PC 完成所有控制任務(wù)。包括過程控制、HMI 集成、運(yùn)動(dòng)控制以及機(jī)器人技術(shù)、安全和測(cè)量技術(shù)以及視覺和物聯(lián)網(wǎng)集成領(lǐng)域的所有控制任務(wù)。結(jié)合模塊化且具備實(shí)時(shí)能力的 TwinCAT 軟件平臺(tái)以及 EtherCAT 超高通信系統(tǒng)，基于 PC 的控制技術(shù)可為您的晶圓廠打造出一種既強(qiáng)大又具備前瞻性的自動(dòng)化解決方案。

l開放式架構(gòu)可實(shí)現(xiàn)最大的設(shè)計(jì)自由度和定制化解決方案

l強(qiáng)大的實(shí)時(shí)環(huán)境，可自動(dòng)執(zhí)行所有控制任務(wù)

l通過自由選擇和集成高性能的工業(yè) PC，可以根據(jù)具體的應(yīng)用需求輕松進(jìn)行擴(kuò)展

總結(jié)

從打破半導(dǎo)體技術(shù)瓶頸到引領(lǐng)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)突破路徑，從單點(diǎn)設(shè)備突破到全產(chǎn)鏈智能化重構(gòu)，倍福正以開放架構(gòu)、精準(zhǔn)控制與創(chuàng)新產(chǎn)品，完成半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)實(shí)現(xiàn)高可靠性，高速度，高精度的設(shè)備需求，共赴半導(dǎo)體智能制造新征程。