微泓：創(chuàng)新突破，發(fā)力精密運動平臺應用市場

今年國內外經(jīng)濟增速開始放緩，加之中美貿易戰(zhàn)的升級，國內制造業(yè)受到波及，直驅行業(yè)也未能“幸免”，所謂危機也是生機，上海微泓自動化設備有限公司（簡稱：微泓）砥礪前行，對未來直驅市場充滿信心。近期，本刊實地走訪了微泓自動化總裁劉品寬博士，他詳細介紹了目前公司在直驅市場的技術開發(fā)動向以及未來的發(fā)展規(guī)劃。

提供潔凈、真空的專業(yè)化半導體裝備方案

微泓是一家致力于直驅（Direct-Drive）回轉定位平臺產品研發(fā)和應用為一體的企業(yè)，加強大學科研院所的工程能力，與大學科研院所共同承擔和完成國家大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝國家科技重大專項（簡稱“02專項”），是微泓公司成立的初衷，這也使得微泓成為了較早進入半導體制造領域的國內企業(yè)之一。

上海是中國高端制造領域發(fā)展較快的區(qū)域，這為微泓提供了很好的發(fā)展機遇。劉品寬表示，“我們是一家真正在半導體裝備制造行業(yè)有著多年實際開發(fā)經(jīng)驗的國內公司，具備齊全的檢測設備和擁有核心的研發(fā)技術團隊。目前與多家上海半導體裝備企業(yè)有緊密的合作關系，包括光刻機、刻蝕機、CVD化學薄膜沉積設備等等。半導體行業(yè)對潔凈、真空環(huán)境以及生產工藝要求極為嚴苛，有一定的準入‘門檻’，通過這些年來的開發(fā)積累，微泓自動化的直驅轉臺DDR產品在國內光刻機設備上有所應用。

為了滿足半導體制造對潔凈度的高要求，微泓建立了100平米的萬級潔凈間，用于潔凈環(huán)境下的精密裝配、調試與測試；并配有激光干涉儀、主軸分析儀等精密測試儀器，滿足系統(tǒng)設計過程中對定制系統(tǒng)的標定、精度測試和運動特性的測試要求；特別是還開發(fā)出了一套專門針對運動定位系統(tǒng)的運動時不同敏感位置的顆粒檢測與潔凈度評估系統(tǒng)，令產品能夠完全符合客戶對高端應用領域的需求。

微泓開發(fā)的潔凈環(huán)境使用的多維精密運動平臺和多維潔凈機械手，采用電纜管理系統(tǒng)，可以降低顆粒物的排放量；專屬潤滑劑用于潔凈環(huán)境使用，不含碳氫化合物；對材料表面進行特殊處理，使用潔凈室級包裝；專門的制造工藝，使運動系統(tǒng)達到最高的系統(tǒng)級潔凈度。

其中，多維精密運動平臺可根據(jù)客戶的應用需求，為客戶量身定制多維運動系統(tǒng)，目前已有的成熟方案包括12吋晶圓的光學關鍵尺寸，薄膜厚度，光刻疊對測量中的四維精密運動平臺、12吋晶圓缺陷在線檢測的四維精密運動平臺、球面和非球面表面測量中的四維精密運動平臺等，這些技術解決方案可以應用在對平臺性能具有極高要求的半導體制造相關領域。

拓展產品線，加強市場化

微泓從2014年左右開始面向市場推出直驅系列產品，并把高精度直驅DDR轉臺技術定位為公司的重點開發(fā)方向，目前在直驅轉臺技術方面擁有10多項授權國家發(fā)明專利。從2017年開始，微泓根據(jù)市場環(huán)境做出調整，向中低端應用市場輻射。

擴展中低端應用市場，微泓從三個方面著手，首先，是擴大產品線。微泓目前已開發(fā)出自己的產品線，包括運動控制、伺服驅動、測量傳感、控制軟件、定位機構等關鍵部件，以及包括從納米級定位，到微米級定位和微-納結合的運動與定位控制系統(tǒng)，這些標準化和定制化產品線能滿足用戶對精密運動與定位控制的需求，且微泓的伺服電機、伺服驅動器以及相應的精度補償與標定算法完全是自主研發(fā)技術。微泓的產品在3C電子、平板顯示、激光精加工、半導體和泛半導體制造裝備（如：光刻機轉臺）等一些精密加工行業(yè)得到廣泛應用。

目前微泓主要推出的DDR直驅轉臺包括機械軸承支承系列（SR系列）和氣浮軸承支承系列（GR系列），具有高轉速、低傳動慣量、良好的加速性能優(yōu)勢，易實現(xiàn)高精度、高動態(tài)性能的定位過程。從定位精度（0.25~30arc-sec）和輸出力矩（0.2~300N·m）兩個維度，精確定位用戶的應用，給予用戶更大的選擇范圍。同時還可以將直接驅動旋轉電機直接耦合或連接到從動負載上，從而實現(xiàn)與負載的剛性耦合，消除了與傳動皮帶和齒輪箱等相關的問題，為用戶帶來很好的解決方案。

其次，微泓著手做高性價比的產品，通過加強核心零部件（如光柵編碼器）的國產化率，來降低整體系統(tǒng)的制造成本，為不同的行業(yè)用戶提供具有綜合性價比優(yōu)勢的解決方案。在嚴格按照行業(yè)標準，保證產品的質量的同時，強化與客戶建立聯(lián)系，增強用戶粘性，了解客戶的真實需求，為客戶提供個性化和專業(yè)化的售后服務。

此外，針對不同的細分應用領域，做定制化開發(fā)。微泓具備ETO定制小批量制造與測試能力，目前已形成完善的ETO開發(fā)管理流程，包括前期的客戶咨詢、需求分析、方案及報價、簽訂合同、項目小組成立、詳細設計、加工制造、售后維護、測試與用戶考核。根據(jù)客戶設備生產的新要求，有針對性地在設備上定制開發(fā)所需要的功能，可以為不同的應用場合提供差異化的技術方案，滿足中低端市場不同用戶的場景需求。

“目前我們工作的重點是結合各種不同的實際應用環(huán)境，運用我們在DDR轉臺技術開發(fā)的優(yōu)勢，去替代國外高端品牌。在和客戶的合作上，我們雙方會集中技術、資金等優(yōu)勢資源，共同開發(fā)出更符合客戶生產應用需求的方案，解決客戶面臨的難點?！眲⑵穼捬a充道。

近年來，微泓已在華東市場上嶄露頭角，按照公司的發(fā)展規(guī)劃，華南地區(qū)將是微泓未來主力開發(fā)的重點區(qū)域市場。正如劉品寬所言，華南地區(qū)是中國高科技電子產業(yè)的聚集地，已形成門類齊全、綜合配套能力和產品開發(fā)能力較強的外向型現(xiàn)代工業(yè)體系，發(fā)展極具前瞻性。微泓會緊跟時代步伐，采用“腳踏實地，扎實基礎”的戰(zhàn)略，全面布局企業(yè)發(fā)展道路，持續(xù)擴大微泓在中國自動化市場上的品牌影響力。