01、背景介紹

　　近期，各大自動(dòng)化公司相繼發(fā)布關(guān)于產(chǎn)品貨期延長(zhǎng)及產(chǎn)品漲價(jià)的通知，其根本在于芯片價(jià)格的持續(xù)暴漲及芯片供應(yīng)周期的不斷延長(zhǎng)，這場(chǎng)持續(xù)兩年之久的“缺芯潮”不僅沒有得到緩解，甚至因?yàn)槎頌鯖_突等各方面原因的共同作用愈演愈烈。

　　作為芯片生產(chǎn)過程中的重要半導(dǎo)體原材料之一的金屬硅具有熔點(diǎn)高(1410)、硬度大、有脆性、常溫下化學(xué)性質(zhì)不活潑的特性。在整個(gè)單晶硅和多晶硅從硅棒(晶錠)到芯片的制備過程中，均需要不同用途的金剛石工具參與。

　　02、金剛砂線介紹

　　金剛砂線是金剛石切割線的簡(jiǎn)稱，也被稱為鉆石切割線或鉆石線，主要用于硅片、藍(lán)寶石、磁性材料、水晶材料等硬脆性材料切割領(lǐng)域。

　　半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈主要包括芯片設(shè)計(jì)、代工制作、封裝測(cè)試三部分。金剛砂線以其高硬度及高耐磨性，已成為硅片制造最重要的切割用具之一。

　　金剛砂線構(gòu)成：

　　金剛砂線由鋼絲線、銅層、金剛砂層及鍍鎳層組成。

　　金剛砂線相比傳統(tǒng)切割工藝的三大優(yōu)勢(shì)：

　　1. 漏損少，壽命長(zhǎng)，切割速度快，切割效率高，提升產(chǎn)能。

　　2. 品質(zhì)受控，單片成本低，金剛砂線切割造成的損傷層小于傳統(tǒng)工藝，有利于切割更薄的硅片。

　　3. 環(huán)保，金剛砂線使用水基磨削液(主要是水)，有利于改善作業(yè)環(huán)境，同時(shí)簡(jiǎn)化洗凈等后道加工程序。

　　金剛砂線生產(chǎn)工藝：

　　1. 鋼線拉絲機(jī)制造高強(qiáng)度內(nèi)芯鋼絲線，金剛砂線切割過程中90%的抗拉強(qiáng)度來自鋼絲線。

　　2. 鍍銅機(jī)為鋼絲表面鍍上銅保護(hù)殼。

　　3. 上砂機(jī)和電鍍機(jī)將金剛砂附著在銅殼外層，形成金剛石微型鋸齒，再鍍上一層加厚鎳，保證上砂質(zhì)量。

　　4. 開刃機(jī)磨削金剛砂線上微型鋸齒，使鋸齒表層鋒利，達(dá)到最佳的切割效果。

　　5. 金剛砂線成品。

　　03、金剛砂線開刃機(jī)

　　金剛砂線由于是將金剛砂電鍍?cè)阡摼€表層，所以切割線表面會(huì)有微型鋸齒，但新生產(chǎn)出來的金剛砂線鋸齒并不鋒利，無法達(dá)到最佳的切割狀態(tài)，所以需要開刃機(jī)對(duì)其鋸齒進(jìn)行磨削，使鋸齒表面鋒利，既能更高效地進(jìn)行切割，也能使切割硅材料表面造成的鋸痕規(guī)整。

　　金剛砂線開刃機(jī)主要分為以下三部分：

　　1. 收放卷部分：

　　使放卷輥上的金剛砂線均勻的纏繞在收卷輥上。

　　2. 排線部分：

　　控制收放卷的排線間隔。

　　3. 平臺(tái)升降部分：

　　移動(dòng)磨刀石，使金剛砂線打磨均勻。

　　設(shè)備工作流程：

　　1. 設(shè)備啟動(dòng)前需要預(yù)張緊到HMI設(shè)置的張力范圍。

　　2. 設(shè)備開始加速運(yùn)行到恒定速度。

　　3. 對(duì)金剛砂線進(jìn)行打磨，通過卷徑計(jì)算和PID調(diào)節(jié)算法，保證過線速度穩(wěn)定，使金剛砂線打磨均勻。

　　4. 設(shè)備運(yùn)行到HMI設(shè)置的生產(chǎn)公里數(shù)，減速停止。

　　04、工藝難點(diǎn)

　　1，放卷輥排線間距不標(biāo)準(zhǔn)，需程序自我調(diào)整。

　　2，HMI界面顯示剩余長(zhǎng)度以及剩余時(shí)間，需要程序自動(dòng)計(jì)算。

　　3，收線速度需為恒定線速度(可使用計(jì)米輪信號(hào))，無法使用理論計(jì)算速度或恒定轉(zhuǎn)速生產(chǎn)。

　　4，整機(jī)加減速和排線換向時(shí)，保證擺桿抖動(dòng)±1°以內(nèi)，否則會(huì)出現(xiàn)斷線情況。

　　05、禾川方案

　　【方案拓?fù)洹?/p>

　　【性能指標(biāo)】

　　1. 生產(chǎn)線徑：ф0.02-ф0.5mm。

　　2. 擺桿張力：0-10N。

　　3. 生產(chǎn)速度<=1200m/min。

　　4. 排線間距誤差± 1μm。

　　5. abs(誤差)<1%。

　　【方案優(yōu)勢(shì)】

　　1. 采用齒輪排線，能夠自動(dòng)糾偏，保持排線穩(wěn)定，包含梯形排線和R角補(bǔ)償功能。

　　2. 觸摸屏可以實(shí)時(shí)記錄生產(chǎn)信息，通過U盤導(dǎo)出。

　　3. 采用X3E EtherCAT總線伺服驅(qū)動(dòng)器+23位絕對(duì)值光編電機(jī)，響應(yīng)快，一致性好。

　　4. 使用共直流母線技術(shù)，收放卷軸在制動(dòng)過程中產(chǎn)生的再生能源能夠被合理利用和回收，實(shí)現(xiàn)節(jié)能環(huán)保。

　　5. 采用Q系列PAC，總線周期1ms，實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)的卷徑計(jì)算和張力控制，減少短線率。