


新松大氣機(jī)械手SRBJ1A-AD4401
產(chǎn)品型號(hào)SRBJ1A-AD4401
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
公司名稱(chēng)沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司
地 址遼寧省沈陽(yáng)市渾南新區(qū)金輝街16號(hào)
企業(yè)信息
普通會(huì)員第20年
公司類(lèi)型: 生產(chǎn)商
主運(yùn)營(yíng):工業(yè)機(jī)器人、物流與倉(cāng)儲(chǔ)自動(dòng)化、大型自動(dòng)化生產(chǎn)線...
所在地區(qū):沈陽(yáng)市
注冊(cè)時(shí)間:2006-03-30
耦合傳動(dòng)、伺服驅(qū)動(dòng)、潔凈傳動(dòng)及潤(rùn)滑、SCARA手臂結(jié)構(gòu),具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優(yōu)點(diǎn)。迎合個(gè)性化設(shè)計(jì),手指及接口用戶可定制,網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng),高速傳片效率和碰撞保護(hù)功能,SEMI認(rèn)證S2、F47,MCBF大于1000萬(wàn)次。負(fù)責(zé)完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動(dòng)傳送。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)越之選擇。
參數(shù)
結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure | 柱坐標(biāo)型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
---|---|---|
負(fù)載Payload | 名稱(chēng)name | 晶圓wafer |
直徑diameter | Φ200mm/Φ300mm | |
重量weight | ≤0.5kg | |
自由度數(shù)DOF | 4 | |
手?jǐn)?shù)量Number of Arm | 2 | |
最大回轉(zhuǎn)直徑Maximum Swing diameter | 520mm | |
運(yùn)動(dòng)范圍 Moving Range | 升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis | 450mm |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | 350° | |
伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis | R760mm | |
最大速度 Maximum Moving Speed | 升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis | 375mm/s |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | 360° | |
伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis | 1100mm/s | |
重復(fù)定位精度 Repeatability | 升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis | ±0.1 mm(3σ) |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | ±0.01°(3σ) | |
伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis | ±0.1 mm(3σ) | |
潔凈度Clean Class | CLASS 1 | |
主機(jī)重量Body Weight | 70 kg | |
電源Power Supply | VAC 220V±10% |

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