

新松真空機械手SRBZ820C-SMSX/G
產(chǎn)品型號SRBZ820C-SMSX/G
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
公司名稱沈陽新松機器人自動化股份有限公司
地 址遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號
企業(yè)信息
普通會員第20年
公司類型: 生產(chǎn)商
主運營:工業(yè)機器人、物流與倉儲自動化、大型自動化生產(chǎn)線...
所在地區(qū):沈陽市
注冊時間:2006-03-30
機械手采用耐高溫手指有隔熱設(shè)計,可用于放置高溫托盤,短時間耐高溫300℃以上。指部、腕部靈巧的設(shè)計理念降低了接觸面的表面粗糙度,加大熱阻。同時具有噪音小、振動小、運行平穩(wěn)、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能,有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規(guī)劃,提高運動節(jié)拍,提高了用戶產(chǎn)能。在半導(dǎo)體前道高端設(shè)備中廣泛應(yīng)用,推動了國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進步,有效的支撐了國內(nèi)設(shè)備商的發(fā)展。
參數(shù)
結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure | 柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
---|---|---|
密封方式Seal way | 磁流體密封Ferro-Fluidic Sealing | |
自由度數(shù)DOF | 2 | |
負載Payload | 名稱name | 托盤Tray |
直徑diameter | Φ300mm | |
重量weight | 1.5kg | |
最大運動范圍 Moving Range | R軸(mm)R-Axis | 立柱中心至R軸最大伸展處被搬運物體中心距離820 Distance from pillar center to the moving objects center of the biggest R-axis stretching is R820mm |
θ軸(°)θ-Axis | 360 | |
全行程最小時間 Minimum running time | R軸(s)R-Axis | 2.5 |
θ軸(s)θ-Axis | 3.5 | |
重復(fù)定位精度 Repeatability | θ軸(°)θ-Axis | ±0.01(3σ) |
R軸(mm)R-Axis | ±0.1(3σ) | |
重量Weight | 機械手本體Main-body | 41kg |
控制器Controller | 15kg | |
耐真空度Base Pressure (Pa) | 10--5Pa | |
漏率leak rate | <1*10E-8Mbar*L/s | |
碰撞保護Collision Protect Function | 盤片和機械手無損傷Disc and robot without damage | |
隔熱設(shè)計 | 指部隔熱塊 | |
承載溫度 | 300℃ |

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