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新松大氣機械手SRBJ1A-AS3491

產(chǎn)品型號SRBJ1A-AS3491

廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商

公司名稱沈陽新松機器人自動化股份有限公司

地址遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號

收藏產(chǎn)品

聯(lián)系人：劉曉菲 024-31699000

聯(lián)系我時，請說明是在傳動網(wǎng)上看到的，謝謝！

企業(yè)信息

沈陽新松機器人自動化股份有限公司

普通會員第20年

公司類型：生產(chǎn)商

主運營：工業(yè)機器人、物流與倉儲自動化、大型自動化生產(chǎn)線...

所在地區(qū)：沈陽市

注冊時間：2006-03-30

產(chǎn)品新聞

技術(shù)文章

產(chǎn)品介紹

大氣機械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍寶石基片搬運。手臂采用先進的結(jié)構(gòu)加強了手臂的剛性，并有效抑制振動，輕量化設(shè)計滿足高速要求。本體的制造工藝改進有效降低成本，提升市場競爭力。材料、加工以及表面處理多方面優(yōu)選，以實現(xiàn)高潔凈度。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制，使得機器人可以采用任意姿勢來取放晶元，允許更多的片盒直線排布，更節(jié)省空間，適應(yīng)性更強。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢之選。

參數(shù)：

結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure		柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
負載Payload	名稱name	晶圓wafer
	直徑diameter	Φ200mm/Φ300mm
	重量weight	≤0.5kg
自由度數(shù)DOF		3
最大回轉(zhuǎn)直徑Maximum Swing diameter		520mm
運動范圍 Moving Range	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	330mm
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	330°
	伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis	R736mm
最大速度 Maximum Moving Speed	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	330mm/s
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	360°
	伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis	900mm/s
重復(fù)定位精度 Repeatability	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	±0.01°(3σ)
	伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)

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