歐姆龍在2011年6月29日～30日于太平洋橫濱會展中心舉辦的“DesignMED Japan 2011（和MEDTEC Japan 2011同時舉辦）”上，展出了兩款MEMS傳感器。一款是MEMS流量傳感器，已經(jīng)投入量產(chǎn)。該傳感器在醫(yī)療器械中，用于濃縮氧裝置。
另一款是正在開發(fā)的MEMS溫度傳感器。歐姆龍曾在2010年10月的“CEATEC JAPAN 2010”上宣布，開發(fā)出了采用MEMS的非接觸溫度傳感器。在本屆MEDTEC上展出的傳感器和CEATEC JAPAN 2010上展出的產(chǎn)品基本采用相同構造。
據(jù)MEDTEC展區(qū)的解說員介紹，到展區(qū)參觀的與會人員對該傳感器的反應比CEATEC時要好。“在CEATEC上基本沒有人拿走宣傳冊，而此次將宣傳冊放在展區(qū)后很快就被拿光了”。
此次的傳感器由以下部件組成：（1）將遠紅外線聚光至傳感器芯片上的硅透鏡；（2）配備多個非接觸溫度傳感器——熱電堆元件的MEMS元件；（3）將傳感器的輸出換算為溫度的MCU。傳感器包括排列8個熱電堆元件的產(chǎn)品以及將該元件以4×4排列的產(chǎn)品。
通過安裝多個熱電堆元件，可利用非接觸方式同時測量多個區(qū)域的溫度。雖然還取決于MCU配備的軟件，不過基本能測量5～6m遠處的溫度。與焦電傳感器不同，還可測量靜止狀態(tài)的測量對象。因此，可以一次性檢查多人病房中的患者是否全在病房。
測量溫度范圍為0～50℃。噪聲等效溫度差（NETD）為0.2℃。視角為8度/元件。與該公司以前開發(fā)的MEMS溫度傳感器相比，感度提高了50％。利用MCU換算的溫度可經(jīng)由I2C接口輸出到外部。
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