在瞬息萬變的半導(dǎo)體行業(yè)，生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量是企業(yè)競爭力的核心。長期以來，半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域面臨著一個“不可能三角”：高精度、高速度和高穩(wěn)定性難以兼得，高精度往往以犧牲速度為代價，而追求產(chǎn)率又可能影響定位穩(wěn)定性。傳統(tǒng)運動平臺往往在這些要素之間做出妥協(xié)，導(dǎo)致設(shè)備綜合效率低下，成本居高不下。

　　產(chǎn)品|飛馬座運動平臺

　　雅科貝思飛馬座運動平臺PGS-XYT系列，以系統(tǒng)層面的正向設(shè)計，從材料、結(jié)構(gòu)、熱管理和運動控制等多個維度出發(fā)，徹底打破半導(dǎo)體行業(yè)困局。它不僅實現(xiàn)了毫秒級整定、亞微米級精度，更將靜態(tài)抖動控制在納米級別，為半導(dǎo)體制造帶來了革命性的突破。

飛馬座運動平臺

　　核心特點：三位一體，重塑生產(chǎn)力

　　?? 突破性產(chǎn)率：毫秒級響應(yīng)，賦能高效制造

　　飛馬座運動平臺采用先進的直驅(qū)技術(shù)，結(jié)合輕量化高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計、主動減震系統(tǒng)以及智能運動控制算法，將平臺整定時間縮短至10ms以內(nèi)。這意味著更快的運動速度、更短的生產(chǎn)周期，從而大幅提升平臺產(chǎn)率，助力企業(yè)在激烈的市場競爭中贏得先機。

PGS-XY模組

　　?? 納米級抖動：精益求精，鑄就卓越品質(zhì)

　　在精密制造領(lǐng)域，納米級抖動是衡量平臺性能的關(guān)鍵指標。飛馬座運動平臺搭載高信噪比控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了3nm靜態(tài)抖動的卓越表現(xiàn)。這為半導(dǎo)體檢測、量測等對精度要求極高的應(yīng)用場景提供了堅實保障。

　　?? 卓越潔凈性能：高標準環(huán)境，延長設(shè)備壽命

　　飛馬座運動平臺充分發(fā)揮直驅(qū)技術(shù)在潔凈度和壽命上的先天優(yōu)勢，并采用低發(fā)塵設(shè)計、內(nèi)置抽排系統(tǒng)和氣路污染隔絕等創(chuàng)新技術(shù)，實現(xiàn)了ISO2級別的超高潔凈度。這不僅能夠有效降低污染離子的傳播，更顯著延長設(shè)備的使用壽命，為企業(yè)創(chuàng)造更大價值。

圖片來源于網(wǎng)絡(luò)

　　技術(shù)優(yōu)勢：突破行業(yè)瓶頸

　　?? 震動管理：主動隔震，穩(wěn)如磐石

　　飛馬座運動平臺采用先進的直驅(qū)技術(shù)，結(jié)合輕量化高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計、主動減震系統(tǒng)以及智能運動控制算法，將平臺整定時間縮短至10ms以內(nèi)，可滿足最大加速度2.5g的工況。這意味著更快的運動速度、更短的生產(chǎn)周期，從而大幅提升平臺產(chǎn)率，助力企業(yè)在激烈的市場競爭中贏得先機。

　　?? 輕量化高剛度設(shè)計：精益求精，追求極致

　　利用先進材料和拓撲優(yōu)化等手段，飛馬座運動平臺實現(xiàn)了輕量化高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計。三片式一體化設(shè)計不僅能夠壓縮空間尺寸，更能提高結(jié)構(gòu)剛度，從根源上減少抖動和串?dāng)_，確保產(chǎn)率和精度的雙重提升。

圖片來源于網(wǎng)絡(luò)

　　應(yīng)用場景

　　飛馬座運動平臺憑借其卓越的性能，廣泛適用于半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括：

　　半導(dǎo)體檢測與量測：

　　在晶圓檢測、缺陷分析、膜厚測量等高精度量測應(yīng)用中，飛馬座平臺能夠提供穩(wěn)定的運動控制和納米級抖動抑制，保障測量結(jié)果的準確性和可靠性。

　　套刻誤差檢測與校正：

　　在多層芯片制造過程中，套刻精度是影響芯片性能的關(guān)鍵因素。飛馬座平臺能夠輔助套刻誤差的檢測與校正，提高芯片的良率。

　　未來與展望雅科貝思深耕運動控制領(lǐng)域多年，始終關(guān)注半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展趨勢。未來，雅科貝思將通過持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新、深化行業(yè)合作和拓展全球市場，致力于成為半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)先的運動控制解決方案供應(yīng)商，為推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻力量。