在現(xiàn)代檢測(cè)工藝中,隨著各類半導(dǎo)體元件制程的不斷提升,為在不損傷元件的前提下,精準(zhǔn)檢測(cè)樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、分層等缺陷,一種新型檢測(cè)方式應(yīng)運(yùn)而生 —— 超聲波掃描成像。
(該技術(shù)在掃描過(guò)程中不會(huì)對(duì)樣品造成損傷,可滿足陶瓷基板、IGBT、水冷散熱器、電器焊接件、碳纖維復(fù)合材料等產(chǎn)品的質(zhì)控需求)
超聲顯微檢測(cè)流程
支持多種的掃描模式,分層的測(cè)量,高精度快速的成像不放過(guò)任何細(xì)節(jié)。
傳統(tǒng)絲桿傳動(dòng)下客戶核心痛點(diǎn)
⒈精度穩(wěn)定性難以保障
傳統(tǒng)絲桿傳動(dòng)存在固有間隙,且運(yùn)行過(guò)程中易產(chǎn)生磨損問(wèn)題,長(zhǎng)期使用后精度偏移現(xiàn)象顯著,直接導(dǎo)致超聲波檢測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性波動(dòng),無(wú)法為檢測(cè)判斷提供穩(wěn)定可靠的技術(shù)支撐。
?、矙z測(cè)速度存在明顯限制
絲桿傳動(dòng)的機(jī)械特性決定其速度存在固有局限,難以突破傳統(tǒng)運(yùn)行速率瓶頸,進(jìn)而制約超聲波檢測(cè)的整體節(jié)奏,導(dǎo)致檢測(cè)效率提升困難,無(wú)法適配高節(jié)奏、大規(guī)模的檢測(cè)需求。
?、尘S護(hù)成本高且使用壽命有限
絲桿傳動(dòng)運(yùn)行時(shí)磨損問(wèn)題突出,需投入時(shí)間與成本進(jìn)行定期檢修、更換磨損部件;同時(shí),長(zhǎng)期機(jī)械磨損會(huì)加速設(shè)備整體老化,縮短設(shè)備使用壽命,最終增加設(shè)備換新的額外成本負(fù)擔(dān)。
應(yīng)用案例
超聲波探傷設(shè)備通常由直線 XY 模組、Z 對(duì)焦模組、超聲波探測(cè)模組及控制器組成,可根據(jù)不同設(shè)備的類型與尺寸進(jìn)行定制化設(shè)計(jì)。
超聲掃描設(shè)備硬件組成
◆ 運(yùn)動(dòng)控制部分
運(yùn)動(dòng)平臺(tái):DGL系列直線模組,采用AJM系列有鐵芯直線電機(jī),小體積大功率密度的設(shè)計(jì)。搭配32bit絕對(duì)值光柵尺反饋,滿足小體積高性能的設(shè)計(jì)需求。
驅(qū)控部分:可支持多種驅(qū)動(dòng)適配,通過(guò)兩個(gè)協(xié)同工作并使用高速通信的驅(qū)動(dòng)器,來(lái)同步兩個(gè)龍門運(yùn)動(dòng)軸。
◆ 上位機(jī)掃查軟件
定制化開(kāi)發(fā),能利用 XY 軸的等效輸出結(jié)合超聲波探測(cè)頭描繪掃描圖像;通過(guò) SDK 調(diào)用運(yùn)動(dòng)指令,可實(shí)現(xiàn) XY 軸換行軸與掃描軸的自定義設(shè)置、掃查各點(diǎn)位一鍵 GOTO 功能,以及 Z 模組根據(jù)液位實(shí)時(shí)變焦的動(dòng)作,支持多種模式的掃描作業(yè)。
◆ 信號(hào)聯(lián)動(dòng)
XY 軸編碼器的等效輸出信號(hào)會(huì)接入超聲波模塊作為成像源,以此實(shí)現(xiàn)無(wú)損成像。直線電機(jī)模組 “高速高加速” 的特點(diǎn),能顯著提升成像描繪效率;而光柵尺 “直接反饋、無(wú)傳動(dòng)磨損” 的優(yōu)勢(shì),可大幅增強(qiáng)后續(xù)成像的穩(wěn)定性。
雅科貝思的優(yōu)勢(shì)
?、睒?biāo)準(zhǔn)化的直線模組解決方案 —— DGL系列模組
●內(nèi)置直線電機(jī)可選
●行程從100 mm到1,200 mm,定制可達(dá)100 m/重復(fù)定位精度可達(dá)土1um
●分辨率可選: 0.05um或0.1um
●高精度以及精準(zhǔn)回零
●速度可至5m/s,加速度可達(dá)10 G甚至更高
?、捕嘣幋a器可選
覆蓋增量式與絕對(duì)值兩大類型編碼器,可適配TTL、SINCOS、BISSC、ENDAT2.2等多種信號(hào)規(guī)格,滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景下的精度與信號(hào)需求。
⒊自主專利總線技術(shù)與豐富開(kāi)發(fā)
搭載自主專利的 Central-l 總線技術(shù),同時(shí)提供豐富的SDK與 IDE定制開(kāi)發(fā)功能,支持 C++、C#等主流編程語(yǔ)言的API二次開(kāi)發(fā)接口,降低客戶二次開(kāi)發(fā)門檻,提升系統(tǒng)適配靈活性。