PI 應用 生產(chǎn)級別晶圓探測和光子學測試

文:文 / 普愛納米位移技術(上海)有限公司2024年第五期

導語:硅光芯片作為一種新興技術,能夠在很大程度上彌補集成電路微電子技術在數(shù)據(jù)傳輸和能效方面的瓶頸,但這些技術給測 試和封裝過程帶來了很多挑戰(zhàn),本文簡要介紹了PI針對生產(chǎn)級別晶圓探測和光子學測試提供的優(yōu)秀運動控制解決方案。

  硅光子學在推動諸如量子計算、納米衛(wèi)星、光探測和 測距(激光雷達)以及光學邏輯等尖端技術的發(fā)展方面起著 至關重要的作用。此外,硅光子學的應用還能夠提高數(shù)據(jù)處 理、存儲和傳輸方面的性能。這些技術給測試和封裝過程帶 來了很多挑戰(zhàn),特別是在具有高潔凈度要求的高產(chǎn)量生產(chǎn)環(huán) 境中光纖器件的對準方面。

  該運動解決方案的主要特點包括:

  ? 生產(chǎn)級別自動化光子學對準;

  ? 生產(chǎn)效率提高百倍;

  ? 全天候運行,性能可靠;

  ? 適用于極其潔凈的環(huán)境;

  ? 降低擁有成本;

  ? 優(yōu)化任何品質因數(shù)。

晶圓探測

  1 XYZ軸:光纖到光纖或光纖到波導對準

  ?無摩擦、免維護空氣軸承設計,用于全天候高占空比應用;

  ? 音圈直接驅動電機,可實現(xiàn)平穩(wěn)運行、高動態(tài)和快速步 進與穩(wěn)定;

  ? 集成直線光柵尺,可實現(xiàn)準確定位;

  ? 創(chuàng)新緊湊的XYZ設計,節(jié)省集成空間;

  ? 集成Z軸平衡裝置,可實現(xiàn)垂直操作,同時將對平臺外 形的影響降至最低;

  ? 主要平臺:帶空氣軸承的A-142 PIglide音圈線性平 臺、A-143 PIglide小型線性空氣軸承平臺。

  2 θZ軸:光子器件的精密旋轉定位(可選)

  ? 高精度且可重復的360 旋轉,無空回;

  ? 采用直接驅動電機技術,運行平穩(wěn)而精密,無齒槽效應;

  ? 高動態(tài)無刷力矩電機;

  ? 高精度絕對或增量編碼器選配件;

  ? 低外形設計,節(jié)省集成空間。

  3 用戶友好且靈活的自動化控制

  ? 采用基于ACS的集成對準算法的高性能工業(yè)控制器;

  ? 專有固件提供用于第一束光檢測的快速區(qū)域掃描算法, 以及用于峰值耦合的梯度和質心算法;

  ? 軟件支持常見操作系統(tǒng)以及多種編程語言(包括 MATLAB、Python、C#和NI LabVIEW);

  ? 主要產(chǎn)品:A-81x PIglide運動控制器。

  PI提供了基于不同電機、導向和傳感器技術的先進運 動解決方案,可實現(xiàn)全天候的快速自動化運行。這些解決 方案輔以獨特的專有對準算法,可并行優(yōu)化任何品質因數(shù) (FoM),從而將生產(chǎn)效率提高百倍以上。

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