PI 應(yīng)用 生產(chǎn)級(jí)別晶圓探測(cè)和光子學(xué)測(cè)試

文:文 / 普愛納米位移技術(shù)(上海)有限公司2024年第五期

導(dǎo)語:硅光芯片作為一種新興技術(shù),能夠在很大程度上彌補(bǔ)集成電路微電子技術(shù)在數(shù)據(jù)傳輸和能效方面的瓶頸,但這些技術(shù)給測(cè) 試和封裝過程帶來了很多挑戰(zhàn),本文簡要介紹了PI針對(duì)生產(chǎn)級(jí)別晶圓探測(cè)和光子學(xué)測(cè)試提供的優(yōu)秀運(yùn)動(dòng)控制解決方案。

  硅光子學(xué)在推動(dòng)諸如量子計(jì)算、納米衛(wèi)星、光探測(cè)和 測(cè)距(激光雷達(dá))以及光學(xué)邏輯等尖端技術(shù)的發(fā)展方面起著 至關(guān)重要的作用。此外,硅光子學(xué)的應(yīng)用還能夠提高數(shù)據(jù)處 理、存儲(chǔ)和傳輸方面的性能。這些技術(shù)給測(cè)試和封裝過程帶 來了很多挑戰(zhàn),特別是在具有高潔凈度要求的高產(chǎn)量生產(chǎn)環(huán) 境中光纖器件的對(duì)準(zhǔn)方面。

  該運(yùn)動(dòng)解決方案的主要特點(diǎn)包括:

  ? 生產(chǎn)級(jí)別自動(dòng)化光子學(xué)對(duì)準(zhǔn);

  ? 生產(chǎn)效率提高百倍;

  ? 全天候運(yùn)行,性能可靠;

  ? 適用于極其潔凈的環(huán)境;

  ? 降低擁有成本;

  ? 優(yōu)化任何品質(zhì)因數(shù)。

晶圓探測(cè)

  1 XYZ軸:光纖到光纖或光纖到波導(dǎo)對(duì)準(zhǔn)

  ?無摩擦、免維護(hù)空氣軸承設(shè)計(jì),用于全天候高占空比應(yīng)用;

  ? 音圈直接驅(qū)動(dòng)電機(jī),可實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)運(yùn)行、高動(dòng)態(tài)和快速步 進(jìn)與穩(wěn)定;

  ? 集成直線光柵尺,可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確定位;

  ? 創(chuàng)新緊湊的XYZ設(shè)計(jì),節(jié)省集成空間;

  ? 集成Z軸平衡裝置,可實(shí)現(xiàn)垂直操作,同時(shí)將對(duì)平臺(tái)外 形的影響降至最低;

  ? 主要平臺(tái):帶空氣軸承的A-142 PIglide音圈線性平 臺(tái)、A-143 PIglide小型線性空氣軸承平臺(tái)。

  2 θZ軸:光子器件的精密旋轉(zhuǎn)定位(可選)

  ? 高精度且可重復(fù)的360 旋轉(zhuǎn),無空回;

  ? 采用直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)技術(shù),運(yùn)行平穩(wěn)而精密,無齒槽效應(yīng);

  ? 高動(dòng)態(tài)無刷力矩電機(jī);

  ? 高精度絕對(duì)或增量編碼器選配件;

  ? 低外形設(shè)計(jì),節(jié)省集成空間。

  3 用戶友好且靈活的自動(dòng)化控制

  ? 采用基于ACS的集成對(duì)準(zhǔn)算法的高性能工業(yè)控制器;

  ? 專有固件提供用于第一束光檢測(cè)的快速區(qū)域掃描算法, 以及用于峰值耦合的梯度和質(zhì)心算法;

  ? 軟件支持常見操作系統(tǒng)以及多種編程語言(包括 MATLAB、Python、C#和NI LabVIEW);

  ? 主要產(chǎn)品:A-81x PIglide運(yùn)動(dòng)控制器。

  PI提供了基于不同電機(jī)、導(dǎo)向和傳感器技術(shù)的先進(jìn)運(yùn) 動(dòng)解決方案,可實(shí)現(xiàn)全天候的快速自動(dòng)化運(yùn)行。這些解決 方案輔以獨(dú)特的專有對(duì)準(zhǔn)算法,可并行優(yōu)化任何品質(zhì)因數(shù) (FoM),從而將生產(chǎn)效率提高百倍以上。

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