1 晶圓傳送裝置

　　晶圓傳送裝置里，最常見的裝置為機械傳送臂，此機 械結構能快速準確地將晶圓在傳送室和處理室之間完成抓 取和放置。

　　對比傳統(tǒng)的機械傳動方式，諧波傳動技術在晶圓機 械傳送臂中，利用柔輪在工作中不斷變形的特點，可以實 現(xiàn)更大范圍的傳動比變化，但這種特點由于轉動慣量大， 導致啟動的力矩也變大，經(jīng)常產(chǎn)生額外的能量損耗和熱損 失，同時機械臂末端的精度也容易受到影響。

　　對晶圓搬運機器人來說，機械臂的末端精度將決定其 精準的操控能力，確保晶圓在搬運過程不受損傷和污染， 避免碰撞和傾倒，因此機械臂的末端精度極為重要。

　　2 橫川直驅(qū)運動控制解決方案

　　針對諧波傳動的不足，橫川直驅(qū)運動控制專家將自主研發(fā)的DDR馬達DMFI120-009RE5和DMFI118-016RE5， 分別用于兩個機械臂和機器人整體的旋轉上，兩款電機采 用單圈絕對值編碼器，上電后無需回零，避免兩個機械臂 干涉，憑借經(jīng)濟、高效、高速、靜音、精準、節(jié)能等特 性，成功替換諧波結構，幫助客戶在生產(chǎn)效率、成品質(zhì)量 上實現(xiàn)質(zhì)的有效提升。

　　3 設備收益

　　通過采用橫川直驅(qū)運動控制解決方案對晶圓搬運 機器人的優(yōu)化，設備叉取晶圓片機械臂末端的精度可達 ±0.05mm內(nèi)，且回轉半徑小，在精準感知晶圓位置進行搬 運操作的同時，能大幅提升空間使用率。

　　由于沒有齒輪減速機的中間傳動結構，DDR馬達的 使用完美地減少了使用諧波傳動結構所產(chǎn)生大振動和機械 噪音，電機具有更強地起步能力地同時，能量損失也能減 少，從而提高生產(chǎn)效率。

　　另外，橫川機器人產(chǎn)出的DDR馬達憑借國產(chǎn)自主可控 技術，能夠保持絕對的成本價優(yōu)勢，解決了目前國內(nèi)諧波 傳動結構仍需依賴高價進口的問題。