1 IC終測環(huán)節(jié)——轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)介紹

　　半導(dǎo)體檢測從設(shè)計驗證到最終測試都不可或缺，貫穿 整個半導(dǎo)體制造過程。半導(dǎo)體檢測包括設(shè)計驗證、工藝控 制檢測、晶圓測試(CP測試)以及成品測試(FT測試)， 轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)主要應(yīng)用于芯片設(shè)計檢驗階段和成品終測 (FT)環(huán)節(jié)，是終測環(huán)節(jié)的重要檢測設(shè)備之一。轉(zhuǎn)塔式分 選機(jī)尤其適用于小型片式半導(dǎo)體分立元件的打標(biāo)、測試、 分選和包裝，是一種主轉(zhuǎn)盤在中心，各個測試工位按照順 序均布在主電機(jī)周圍的一種高速分選機(jī)，通常包含工位有 12個和36個等多種型號，工作流程包括：

　　(1)產(chǎn)品通過上料結(jié)構(gòu)被送到主電機(jī)轉(zhuǎn)盤上;

　　(2)主電機(jī)轉(zhuǎn)盤吸住芯片并通過轉(zhuǎn)動將產(chǎn)品送到下 一 個工位;

　　(3)上料工位工作;

　　(4)電機(jī)轉(zhuǎn)盤吸取新的一個產(chǎn)品。 轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)的主要特點(diǎn)有：

　　? 多工位同時工作，減少生產(chǎn)周期;

　　? 精度高，速度快

　　? 安裝簡單，占空間小。

　　2 主轉(zhuǎn)盤馬達(dá)評估三要素

　　轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)是集成了多種工序于一體的高速檢測 設(shè)備，隨著行業(yè)競爭日益激烈，對于設(shè)備的要求也越來越 高，整機(jī)來看，產(chǎn)能、故障停機(jī)率、檢測精度是評判塔式

　　分選機(jī)重要三要素。那么，主轉(zhuǎn)動馬達(dá)的選擇對于轉(zhuǎn)塔式 分選機(jī)來說也是重中之重了，它能在提升產(chǎn)能的同時又能 保證檢測良品率。目前行業(yè)中最快的設(shè)備每小時可以完成 50-60K甚至更高的芯片檢測速度。產(chǎn)能、故障停機(jī)率、檢 測精度這三大要素體現(xiàn)在主轉(zhuǎn)動馬達(dá)上分別是：

　　? 產(chǎn)能=高速、高加減速、高剛性;

　　? 故障停機(jī)率=穩(wěn)定性;

　　? 檢測精度=重復(fù)定位精度。

　　常規(guī)轉(zhuǎn)塔式測試分選機(jī)的技術(shù)要求包括：

　　? 16-36個工位/旋轉(zhuǎn)角度：22.5°~10 °;

　　? 單工位轉(zhuǎn)動時間：16~24ms;

　　? 轉(zhuǎn)盤慣量：0.010~0.020 kg.m2;

　　? 停止時間：35~60ms;

　　? 產(chǎn)能：40~60 k UPH;

　　? 向下/向上Z軸的平均移動時間：6~20ms。

　　3 奧茵紳主轉(zhuǎn)盤直驅(qū)方案

　　主轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動是高速分選機(jī)最重要的運(yùn)動部件之一，其 中，主轉(zhuǎn)盤驅(qū)動狀況取決于選取的主電機(jī)性能，奧茵紳DD 馬達(dá)高速系列能滿足轉(zhuǎn)塔應(yīng)用的此類運(yùn)動曲線，非常適用 于高精度的移動、速度響應(yīng)要求高和對端跳要求較高的場 合。從運(yùn)動控制的角度看，該過程在技術(shù)上極具挑戰(zhàn)性， 如：它需要轉(zhuǎn)塔電機(jī)以非常高的速度運(yùn)行并承受振動。而 搭載奧茵紳為高速分選機(jī)直驅(qū)馬達(dá)所定制的伺服驅(qū)動器， 則可以使速度和穩(wěn)定性進(jìn)一步得到提高。