高精準(zhǔn),高能效,繁易伺服 在半導(dǎo)體固晶機(jī)設(shè)備上的應(yīng)用
文:文/上海繁易信息科技股份有限公司2024年第二期
導(dǎo)語(yǔ):芯片貼裝是半導(dǎo)體制造工藝中非常重要的一環(huán),在整個(gè)芯片貼裝的工藝流程中,固晶機(jī)一直是舉足輕重的角 色。本案例介紹了繁易伺服產(chǎn)品在固晶機(jī)設(shè)備上的應(yīng)用。
1 固晶機(jī)簡(jiǎn)介
LED固晶機(jī)是一種將LED芯片從晶元盤(pán)吸取后貼裝到PCB(印刷線路板)上,實(shí)現(xiàn)LED芯片的自動(dòng)健合(DieBond)和缺陷芯片檢測(cè)功能的自動(dòng)化設(shè)備。如圖1所示,LED固晶機(jī)系統(tǒng)主要由固晶(焊頭)模組<擺臂結(jié)構(gòu)>、點(diǎn)膠模組<單擺臂或雙擺臂結(jié)構(gòu)>、晶圓臺(tái)、工作臺(tái)、自動(dòng)上下料及視覺(jué)系統(tǒng)等部分組成。固晶機(jī)動(dòng)作流程如下:
(1)上料:自動(dòng)上料機(jī)構(gòu)把PCB板傳送到工作臺(tái)卡具固定位置;
(2)點(diǎn)膠:點(diǎn)膠臂把銀漿或絕緣膠點(diǎn)到需要固晶的位置(目標(biāo)碗杯);
(3)吸晶:固晶臂從原點(diǎn)位置運(yùn)動(dòng)到晶元盤(pán)對(duì)應(yīng)的吸晶位置(左右+上下同步運(yùn)動(dòng)),到位吸住后,擺臂吸嘴向上運(yùn)動(dòng),同時(shí)頂針向上運(yùn)動(dòng);
(4)固晶:擺臂吸晶后,同步檢測(cè)是否漏晶,同時(shí)擺臂運(yùn)動(dòng)到固晶位置,將芯片放置在已經(jīng)點(diǎn)膠的位置(目標(biāo)碗杯);
(5)返回:固晶完成后,擺臂返回原點(diǎn),等待下一次固晶命令。
2 行業(yè)”痛點(diǎn)“
(1)精準(zhǔn)定位要求設(shè)備需要進(jìn)行高精度的操作,任何定位偏移或不穩(wěn)定性都可能導(dǎo)致問(wèn)題。
(2)高速運(yùn)動(dòng)要求設(shè)備需要在高速運(yùn)動(dòng)下完成固晶操作,這要求導(dǎo)軌系統(tǒng)具備高響應(yīng)能力和穩(wěn)定性,實(shí)現(xiàn)快而精確的操作。
(3)安全要求設(shè)備高速運(yùn)轉(zhuǎn),可能存在電機(jī)過(guò)溫、飛車(chē)導(dǎo)致的撞機(jī)等事故。
圖 1 LED 固晶機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖
3 繁易解決方案
針對(duì)LED固晶機(jī)的上述應(yīng)用需求,繁易提供的解決方案配置包括:繁易平板電腦+直驅(qū)伺服+旋轉(zhuǎn)伺服。
(1)控制方式及要求
上位機(jī):PC+板卡,脈沖控制;運(yùn)動(dòng)特點(diǎn):快啟快停,同一行每次移動(dòng)距離 2-3mm,加速度3-5G;性能要求:發(fā)完指令5ms以內(nèi)完成整定,定位完成幅度為5u,無(wú)超調(diào)、抖動(dòng)、聲音要盡量小;運(yùn)行效率:整機(jī)90-100k。
(2)方案優(yōu)勢(shì)及特點(diǎn)
? 無(wú)風(fēng)扇設(shè)計(jì):環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng),耐油污環(huán)境,免風(fēng)扇維護(hù);
? 支持常規(guī)的ABZ、SSI、485通訊式編碼器,支持霍爾辨識(shí);
? 內(nèi)置PTC過(guò)溫檢測(cè),具有電機(jī)過(guò)溫保護(hù)功能;
? 內(nèi)置動(dòng)態(tài)制動(dòng),防飛車(chē)導(dǎo)致的撞機(jī)等事故,保證安全;
? 插拔端子設(shè)計(jì),安裝使用方便,節(jié)約工時(shí);
? 全方位的短路保護(hù),保護(hù)因電機(jī)凝露、進(jìn)水、線皮
破損等任何情況下的短路,確保不會(huì)損壞驅(qū)動(dòng),并有效保護(hù)、報(bào)警;
? 高效的振動(dòng)抑制,內(nèi)置五組陷波器。
4 繁易伺服產(chǎn)品
繁易伺服產(chǎn)品線涵蓋直驅(qū)伺服系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)伺服系統(tǒng),可支持直線電機(jī),DD馬達(dá),音圈馬達(dá)等,能夠滿足客戶的多種需求,其特點(diǎn)包括:
? 高精度,高響應(yīng)
速度環(huán)帶寬可達(dá)3.5KHz,有效提升了機(jī)構(gòu)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)及電機(jī)速度的平穩(wěn)性;23位多圈絕對(duì)值光學(xué)編碼器,重復(fù)定位精度可達(dá)±1.5角秒,絕對(duì)定位精度可達(dá)±10角秒;
? 多種高級(jí)算法
內(nèi)置多種高級(jí)算法,支持在復(fù)雜工況下可以靈活配置,控制平穩(wěn)快速精準(zhǔn);可根據(jù)機(jī)械負(fù)載的振動(dòng)情況,自動(dòng)識(shí)別振動(dòng)頻率成分,對(duì)多組幾十至幾千赫茲頻率的振動(dòng)進(jìn)行抑制;高度集成智能調(diào)諧功能,僅需調(diào)整單一參數(shù)即可修飾負(fù)載到位柔和度,大幅縮短整定時(shí)間并有效抑制振動(dòng)。
? 直驅(qū)伺服產(chǎn)品
采用先進(jìn)的控制算法,專注于直驅(qū)電機(jī)應(yīng)用,配有圖形調(diào)試向?qū)В?jiǎn)化調(diào)試操作;支持ABZ增量編碼器、UVW霍爾傳感器、Biss-C絕對(duì)值編碼器、EnDat絕對(duì)值編碼器、多摩川通訊式編碼器、尼康通訊式編碼器等。
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