科爾摩根無框技術 協助提升半導體制造核心競爭力

　　在現代半導體制造業(yè)中，晶圓磨床工件軸不僅需要具 備高精度和高剛性，還要能夠實現低速度波動和快速響應， 以適應復雜多變的加工需求。傳統(tǒng)伺服電機方案雖然在一定 程度上滿足了基礎需求，但在速度波動控制、安裝空間優(yōu)化 和響應性方面存在明顯局限。特別是在多軸聯動的精密加工 中，傳統(tǒng)電機的性能瓶頸開始顯現，難以滿足現代晶圓磨床 對高精度加工的嚴苛要求。因此，尋找一種能夠大幅提升晶 圓磨床加工性能的創(chuàng)新電機方案，成為了行業(yè)內的迫切需求。

　　1 KBM無框直驅電機應用革新

　　為了應對這些挑戰(zhàn)，設備制作商采用了科爾摩根KBM 系列無框直驅電機，對晶圓磨床的工件軸進行了優(yōu)化。KBM 無框直驅電機以其卓越的技術優(yōu)勢，為晶圓磨床工件軸的性 能提升提供了革新性的解決方案。KBM電機采用無框直驅設 計，結合先進的電磁技術和斜齒轉子設計，實現了工件軸端 跳徑跳的精密控制，將這一指標控制在了300nm以內，遠超 傳統(tǒng)伺服電機的性能。這種高精度的控制能力，確保了晶圓 磨削過程中的微米級精度，為半導體產品的高性能打下了堅 實基礎。

　　2 方案優(yōu)勢

　　? 平穩(wěn)運行

　　斜齒轉子設計極大提高了電機運行時的速度平穩(wěn)性，減 少了速度波動，確保了加工過程的穩(wěn)定性。

　　? 快速定位

　　配合高性能驅動器，KBM電機實現工件軸的快速精準定 位，大幅提高了生產效率和加工速度。

　　? 緊湊設計

　　KBM電機體積小，轉矩密度高，為緊湊結構中的安裝提 供了更大的靈活性，節(jié)省了寶貴的安裝空間。

　　? 高剛性與響應性

　　KBM電機的高剛性和高響應性確保了設備在多軸聯動加 工中的平穩(wěn)運行和快速定位，適應了復雜多變的加工需求。

　　? 低維護成本

　　KBM電機的高可靠性和長壽命降低了維護成本，減少了 停機時間，提高了設備的運行效率和生產連續(xù)性。

　　采用科爾摩根KBM電機的晶圓磨床，讓客戶體驗到了 全方位的提升。不僅晶圓加工的精度和一致性達到了新的水 平，控制精度提升至3rad s，重復定位精度達到1.5rad s， 極大地提高了生產質量，并減少了后續(xù)調整的需要，有效節(jié) 約了成本。生產效率的顯著提升更是縮短了產品從研發(fā)到市 場的周期，增強了企業(yè)的市場響應速度和競爭力。最重要的 是，KBM電機的低維護需求和長期穩(wěn)定性，確保了生產流程 的連續(xù)性，減少了因設備維護導致的生產中斷，為企業(yè)創(chuàng)造 了持續(xù)穩(wěn)定的生產環(huán)境，帶來了顯著的經濟效益和長期的競 爭優(yōu)勢。