概述 無塵室是半導體生產(chǎn)的關(guān)鍵設施。不對生產(chǎn)過程進行嚴格的控制將產(chǎn)生有缺陷的芯片并且浪費寶貴的資源。對無塵室環(huán)境的監(jiān)控包括管理空氣過濾系統(tǒng)、控制 HVAC 系統(tǒng)以及監(jiān)測室內(nèi)的溫度、濕度、壓力、氣體成分和其它參數(shù)。為半導體制造商工作的現(xiàn)場工程師希望能夠連續(xù)簡單地使用 PC-based 無塵室環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)。這樣的系統(tǒng)應該能夠收集數(shù)據(jù)進行分析，確保制造過程在可接受的參數(shù)下進行，從而防止問題的發(fā)生。系統(tǒng)應該確保加工過程符合半導體工業(yè)標準 - 一個非常重要的因素。ADAM-4000 系列遠程數(shù)據(jù)采集和控制硬件以及研華軟件構(gòu)成了一個全面的無塵室監(jiān)測系統(tǒng)的核心。它們提供了一個經(jīng)濟的、易于實施的網(wǎng)絡解決方案。地建造該系統(tǒng)。 系統(tǒng)要求 半導體制造商需要靈活、易于使用的系統(tǒng)。操作員需要獲取和分析整個工廠的信息，這些信息通過輪流查詢詢遍布工廠的遠程傳感器而得到。他們想將一個新的系統(tǒng)增加到現(xiàn)有的加工過程和設備中，而不干擾或修改已經(jīng)建設好的控制系統(tǒng)。即使是主機斷開或關(guān)閉，系統(tǒng)應能夠繼續(xù)運行。自然地，制造商想要一個低成本的解決方案，并且在理想狀況下應該是一個總監(jiān)管系統(tǒng)。 系統(tǒng)體系結(jié)構(gòu) 研華開發(fā)了一個基于 RS-485（2 線）多點網(wǎng)絡的解決方案。為保護無塵室，系統(tǒng)停止運行時必須有效可靠地監(jiān)視過濾器風扇。ADAM-4050 數(shù)字量輸入輸出模塊可以很好地執(zhí)行這項重要任務。ADAM-4017 具有 8 路模擬量輸入處理能力，能夠精確地監(jiān)視空氣溫度、壓力和濕度。整個 RS-485 網(wǎng)絡連接到一個 ADAM-4500 PC-based 通信控制器，它可以以獨立模式運行系統(tǒng)，即使在主機斷開或關(guān)閉的情況下?；?Windows 的 VisiDAQ 3.1 MMI 軟件能夠以其功能強大的、用戶友好的人機界面使自動化系統(tǒng)更加完善。 結(jié)論 集成系統(tǒng)能夠提供連續(xù)不斷的監(jiān)視。能夠?qū)?shù)據(jù)進行短期獨立的監(jiān)控。VisiDAQ 3.1 支持簡易監(jiān)測的自動化報表生成。IC 制造商利用其熱插拔功能可以容易地安裝系統(tǒng)網(wǎng)絡。