該運(yùn)動(dòng)解決方案的主要特點(diǎn)

　　配備光功率計(jì)、控制器和對(duì)準(zhǔn)算法的可擴(kuò)展龍門，用于大面積光子元件測(cè)試和裝配應(yīng)用

　　高度可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)路徑

　　高分辨率線性編碼器

　　高光功率計(jì)帶寬和分辨率，可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)

　　使用先進(jìn)的對(duì)準(zhǔn)算法提高了吞吐量

　　1、XY軸步進(jìn)和掃描

　　·無(wú)鐵芯線性電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)、精密且平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)，完成快速步進(jìn)和掃描

　　·絕對(duì)編碼器可避免參考并確保操作安全?

　　·XY拖鏈電纜管理可保持電纜完整性并延長(zhǎng)使用壽命

　　2、Z軸垂直運(yùn)動(dòng)

　　·高精度滾珠絲杠線性平臺(tái)，配有步進(jìn)電機(jī)和制動(dòng)閘，運(yùn)行可靠

　　·折疊式動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)和緊湊型設(shè)計(jì)，可減少安裝空間

　　·輕量化設(shè)計(jì)，可保持龍門動(dòng)態(tài)性

　　·價(jià)格經(jīng)濟(jì)，交付時(shí)間短

　　3、Z軸距離控制

　　·音圈直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦運(yùn)行、高掃描頻率與快速步進(jìn)和穩(wěn)定

　　·高分辨率線性編碼器，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的位置反饋

　　·可調(diào)節(jié)的重力補(bǔ)償，確保安全運(yùn)行

　　·靈活的安裝選配件，易于集成

　　4、靈活的自動(dòng)化

　　·EtherCAT提供開放式網(wǎng)絡(luò)連接

　　·將傳感器輸出轉(zhuǎn)換為位置數(shù)據(jù)，可實(shí)現(xiàn)快速輸出

　　·廣泛的運(yùn)動(dòng)控制器算法，可實(shí)現(xiàn)快速運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定

　　·自動(dòng)聚焦功能可實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)聚焦調(diào)整?