1、行業(yè)背景

　　單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。硅料經(jīng)加工得到高純度多晶硅，將多晶硅置入單晶爐中，可生長得到單晶硅。單晶爐制備單晶硅是半導(dǎo)體工藝的第一道工序，得到的單晶硅用來制造硅片，因此單晶爐在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中具有重要作用。

　　單晶硅可采用區(qū)熔法、直拉法進行制備，直拉法可生長高純度單晶硅，可應(yīng)用在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，是主流制備工藝。全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展壯大，單晶爐市場需求隨之不斷增長，2021年，市場規(guī)模約為128億元。我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展極為迅速，晶圓廠建設(shè)興起，生產(chǎn)線不斷增多，拉動市場對高純度單晶硅需求快速上升。在此背景下，我國單晶爐行業(yè)迎來發(fā)展機遇。

　　2、工藝介紹

　　如上圖所示，單晶爐有著較為復(fù)雜的一套操作工藝流程，對坩堝提升旋轉(zhuǎn)與定位，爐體主副室升降與旋開，熱屏的升降等各種操作都需要在觸摸屏上完成，同時單晶爐設(shè)備較高，操作人員需爬高一邊觀察設(shè)備情況一邊操作觸摸屏畫面，對此，一個可移動的操作手柄顯得至關(guān)重要。

　　另外在移動操作過程中，單晶硅都極其昂貴，在各工序操作中如有異常需要具有緊急停止功能，避免更大經(jīng)濟損失，所有的操作日志等都需要記錄下來形成歷史報表好供事后追溯。

　　同時單晶爐設(shè)備因為控制較為復(fù)雜，工序繁多，常使用大中型品牌PLC，西門子，倍福等，所以對于觸摸屏還需支持大中型PLC的標(biāo)簽通訊讓工程制作起來更加方便快捷。

　　3、步科解決方案

　　基本規(guī)格：7"TFT，800×480像素，1677萬真彩色;

　　標(biāo)準(zhǔn)配置：10個可編程功能鍵，1個三選擇開關(guān)、1個急停開關(guān)適用于安全性要求較高的場合;

　　實用設(shè)計：兼?zhèn)浒存I和觸控，應(yīng)用場合更廣，選擇更靈活;

　　使用耐久：移動操作手持終端標(biāo)配5米電纜(10、15米可選),線纜可選柔性彈簧線，壽命長;

　　簡單安裝：支持VESA標(biāo)準(zhǔn)(75×75mm孔距)支架、掛架安裝，方便操作工攜帶。

　　4、方案特點

　　手持屏產(chǎn)品設(shè)計，觸摸屏設(shè)備可自由移動，方便調(diào)試;

　　自帶急停開關(guān)，確保安全可靠;

　　觸摸屏面板配置多個可編程按鍵，靈活應(yīng)用，操作更加便利 ;

　　支持西門子，倍福等大中型PLC標(biāo)簽通訊協(xié)議，組態(tài)開發(fā)效率更加高效;

　　支持操作日志記錄，數(shù)據(jù)采樣，生成報表曲線，支持導(dǎo)出數(shù)據(jù)表格文件。