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ETD-900C濺射蒸發(fā)儀
產(chǎn)品型號(hào)
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
公司名稱北京博遠(yuǎn)微納科技有限公司
地 址北京市海淀區(qū)龍崗路51號(hào)院6號(hào)樓2層58室
企業(yè)信息
普通會(huì)員第8年
公司類型： 生產(chǎn)商
主運(yùn)營(yíng)：小型離子濺射儀,噴金儀,真空鍍膜機(jī),磁控濺射儀,掃...
所在地區(qū)：市轄區(qū)
注冊(cè)時(shí)間：2018-08-28
ETD-900C 型離子濺射儀外觀亮麗做工精致，是北京意力博通技術(shù)發(fā)展有限公司針對(duì)SEM用戶研制生產(chǎn)的一款既能濺射金、銀、銅、鉑又能蒸發(fā)碳膜的一機(jī)多用設(shè)備。此款機(jī)器具有小巧方便操作簡(jiǎn)單成膜效果好之優(yōu)點(diǎn)，可以滿足廣大SEM用戶隨時(shí)樣品制備的需要。工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需的電離氣體，獲得最佳鍍膜效果。 配有高位定性的飛躍真空泵
| 濺射氣體 | 濺射靶材 | 濺射電流 | 濺射速率 | 樣品倉(cāng)尺寸 | 樣品臺(tái)尺寸 | 工作電壓 |
| 根據(jù)實(shí)驗(yàn)?zāi)康目商砑託鍤?，氮?dú)獾榷喾N氣體。 | 標(biāo)配靶材為金靶，厚度為50mm*0.1mm。也可根據(jù)實(shí)際情況配備銀靶、鉑靶等。蒸發(fā)材質(zhì)為碳繩。 |
最大電流 50mA,最大工作電流30mA |
優(yōu)于40nm/min |
直徑160mm，高120mm |
樣品臺(tái)尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺(tái)，樣品臺(tái)可調(diào)節(jié)高度。也可根據(jù)自身要求定制樣品臺(tái) |
220V (可做110V), 50HZ |
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ETD-800C
全自動(dòng)離子濺射儀ETD-
磁控濺射儀
小型離子濺射儀ETD-90
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