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小型離子濺射儀ETD-900
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小型離子濺射儀ETD-900

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商

公司名稱(chēng)北京博遠(yuǎn)微納科技有限公司

地       址北京市海淀區(qū)龍崗路51號(hào)院6號(hào)樓2層58室

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聯(lián)系人:江澤普 010-80456071-

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企業(yè)信息

普通會(huì)員8

公司類(lèi)型: 生產(chǎn)商

主運(yùn)營(yíng):小型離子濺射儀,噴金儀,真空鍍膜機(jī),磁控濺射儀,掃...

所在地區(qū):市轄區(qū)

注冊(cè)時(shí)間:2018-08-28

產(chǎn)品介紹

ETD-900 型離子濺射儀外觀亮麗做工精致,旋鈕式定時(shí)器檔位清晰,手感舒適;特殊定制的真空指示和電流指示表頭沉穩(wěn)大氣,具有歐洲典雅風(fēng)范;前面板上的微泄漏氣閥門(mén)可以連接多種氣體;調(diào)節(jié)濺射電流大小,成膜速度快,質(zhì)量好;功能控制和定時(shí)皆由CPU調(diào)度,使用范圍廣。工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需的電離氣體,獲得最佳鍍膜效果。 配有高位定性的飛躍真空泵。

參數(shù)

濺射氣體 濺射靶材 濺射電流 濺射速率 樣品倉(cāng)尺寸 樣品臺(tái)尺寸 工作電壓
根據(jù)實(shí)驗(yàn)?zāi)康目商砑託鍤?,氮?dú)獾榷喾N氣體。 標(biāo)配靶材為金靶,厚度為50mm*0.1mm。也可根據(jù)實(shí)際情況配備銀靶、鉑靶等。

最大電流

50mA,最大工作電流30mA

優(yōu)于40nm/min

直徑160mm,高120mm

樣品臺(tái)尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺(tái),也可根據(jù)自身要求定制樣品臺(tái)

220V

(可做110V),

50HZ

 

需要鍍膜的樣品

主要包括生物樣品,塑料樣品等。S EM中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過(guò)程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對(duì)電子束敏感的材料,那這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下,用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用,防止此類(lèi)損傷;由于樣品不導(dǎo)電,其表面帶有“電子陷阱”,這種表面上的電子積累被稱(chēng)為“充電”。為了消除荷電效應(yīng),可在樣品表面鍍一層金屬導(dǎo)電層,鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電通道,將充電電子從材料表面轉(zhuǎn)移走,消除荷電效應(yīng)。在掃描電鏡成像時(shí),濺射材料增加信噪比,從而獲得更好的成像質(zhì)量。非導(dǎo)電材料實(shí)驗(yàn)電極制作觀察導(dǎo)

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