分辨率從 5 μm到 10 nm 的 20 μm 柵距的直線光柵
20 μm 柵距的 RG2 系列光柵測(cè)量性能優(yōu)異、可靠性強(qiáng)、易于使用,廣泛應(yīng)用于各種測(cè)量場(chǎng)合。分辨率從 5 μm 到 10 nm,速度可達(dá) 8 m/s。

技術(shù)
RG2 是開放式的非接觸光學(xué)系統(tǒng),能夠消除摩擦和磨損,可保證高速、高分辨率的可靠運(yùn)動(dòng)。即使在車間環(huán)境使用,其獨(dú)創(chuàng)的光學(xué)濾波系統(tǒng)也能確保極好的信號(hào)穩(wěn)定性。
所有類型的讀數(shù)頭均具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬或數(shù)字信號(hào)輸出:模擬信號(hào)為 20 μm 的周期,數(shù)字信號(hào)的分辨率從 5 μm 到 50 nm。所有系統(tǒng)均配有獨(dú)創(chuàng)的內(nèi)置安裝狀態(tài)指示燈,如果安裝正確則綠燈亮。所有型號(hào)的讀數(shù)頭都有參考零位和/或限位開關(guān)。參考零位提供可重復(fù)的起始位置,而限位開關(guān)則指示行程的終點(diǎn)。RGH22 讀數(shù)頭也有雙限位開關(guān)選項(xiàng),在行程的兩端提供各自的信號(hào)輸出。
紅外發(fā)光二極管把光發(fā)射到光柵尺的刻劃面,然后通過透明的指示光柵刻劃面將光反射到讀數(shù)頭中。這樣就在讀數(shù)頭的檢測(cè)面產(chǎn)生了正弦干擾條紋。
該光學(xué)系統(tǒng)采用對(duì) 80 條以上的條紋進(jìn)行均分的技術(shù),有效濾掉了與光柵尺刻劃周期不匹配的信號(hào)。即使在光柵尺受到污染或輕微損壞的情況下,也能確保信號(hào)的穩(wěn)定性。
熱膨脹特性經(jīng)常是決定整體測(cè)量精度的重要因素。RGS20 光柵尺在端部緊固,因此迫使其膨脹特性與基體材料的膨脹特性一致,無須對(duì)不同的膨脹系數(shù)進(jìn)行補(bǔ)償。
獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)確保了很小的短周期誤差,周期誤差(即細(xì)分誤差)通常小于 ±0.15 μm。線性誤差特性為每 60 毫米 ±0.75 μm,或任意每米 ±3 μm。
RGS20 鍍金鋼帶光柵尺表面涂漆,便于使用和維護(hù)。背面自帶不干膠,安裝簡(jiǎn)單快捷;對(duì)于各種型號(hào)的讀數(shù)頭,有不同的安裝工具可供選擇。光柵尺成卷供貨,用戶可根據(jù)需要任意裁剪,便于庫(kù)存管理。
借助專用安裝工具,通過機(jī)器軸運(yùn)動(dòng)保證精確準(zhǔn)直,可快速安裝光柵尺。
只要把參考零位、限位開關(guān)和端壓塊粘到相應(yīng)的位置,就可完成安裝。