近日，據(jù)IHSiSuppli公司的MEMS市場簡報，基于MEMS的多傳感器封裝，即所謂的“組合”傳感器，將在消費應(yīng)用與汽車應(yīng)用領(lǐng)域具有非常光明的前景，未來五年在這兩個領(lǐng)域的合計銷售額將增長到現(xiàn)在的50倍。
MEMS組合傳感器在單一的傳感器封裝中含有加速計、陀螺儀或電子羅盤的不同組合。這類傳感器的銷售額到2015年將接近12億美元，而2010年略低于2400萬美元，2010-2015年的復(fù)合年度增長率高達(dá)120%。預(yù)計今年增長率將達(dá)到三位數(shù)，而且這種趨勢將保持到2013年，凸顯這類傳感器在汽車與消費電子領(lǐng)域的商機(jī)巨大。例如，2011年銷售額預(yù)計將達(dá)到7090萬美元，比2010年的2360萬美元大增200%，其中消費應(yīng)用將占到4810萬美元，汽車應(yīng)用占2280萬美元。
組合傳感器通過在單一封裝中整合更多功能，可以節(jié)省空間與成本。這種MEMS傳感器在以下情況下非常有用：價格壓力較大和電路板空間有限，如手機(jī);由于強(qiáng)制要求采用某些技術(shù)，成本成為關(guān)鍵因素，這種情況在汽車領(lǐng)域常見。
未來幾年，消費領(lǐng)域?qū)⒃诮M合傳感器銷售額中繼續(xù)占有較大份額，其銷售額到2015年將增長到10億美元，汽車領(lǐng)域是1.318億美元。
對于汽車領(lǐng)域來說，由于政府強(qiáng)制采用的各種安全系統(tǒng)成為汽車的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，汽車廠商面臨降低成本的壓力，促使其尋求采用更小、更有效率和生產(chǎn)成本較低的組合傳感器。
根據(jù)封裝中所含的器件的不同，組合傳感器的配置可以有不同變化。例如，在消費領(lǐng)域，一個6DOF(6自由度)羅盤模組通常包含一個三軸加速計外加一個3軸羅盤;在使用慣性傳感器的時候，該器件就被稱為慣性傳感器測量單元(IMU)。相比之下，一個9DOF由一個3軸羅盤、3軸陀螺儀和3軸加速計組成;而一個10DOF則包含9DOF中的所有器件，外加一個壓力傳感器用于測量高度。同時，4DOF至6DOF的組合傳感器正在汽車領(lǐng)域出現(xiàn)，主要是不帶羅盤的慣性IMU。
目前供應(yīng)組合傳感器的廠商包括德國博世，主要供其穩(wěn)定控制系統(tǒng)使用;芬蘭VTITechnologies，用于德國廠商ContinentalAG的穩(wěn)定制造系統(tǒng)。
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