歐姆龍上市MEMS流量傳感器 通過(guò)旋風(fēng)除去粉塵后將氣體導(dǎo)入傳感器

時(shí)間:2007-09-21

來(lái)源:中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng)

導(dǎo)語(yǔ):歐姆龍開發(fā)出了可在灰塵及粉塵較多的場(chǎng)所使用的MEMS流量傳感器“D6F-P”。

歐姆龍開發(fā)出了可在灰塵及粉塵較多的場(chǎng)所使用的MEMS流量傳感器“D6F-P”。為了從導(dǎo)入傳感器的氣體中去除灰塵及粉塵,設(shè)置了旋風(fēng)式立體流路構(gòu)造。憑借這一手段,與原來(lái)的直管式型號(hào)相比,實(shí)現(xiàn)了體積更小,抗灰塵及粉塵性更強(qiáng)的流量傳感器。 MEMS流量傳感器的外形尺寸為1.55mm×1.55mm×厚0.4mm,在硅底板上設(shè)置了加熱器和熱電偶。當(dāng)流量為零時(shí),以加熱器為中心,溫度分布處于平衡狀態(tài),當(dāng)有流體通過(guò)時(shí),這一平衡就會(huì)打破,從而產(chǎn)生溫度差。此次的傳感器利用熱電偶檢測(cè)溫度差。還能夠以高靈敏度計(jì)測(cè)1cm/s以下的流速。 相對(duì)于這一高靈敏度MEMS流量傳感器,原型號(hào)也使用特殊的立體流路來(lái)分離灰塵和粉塵。不過(guò),此次新開發(fā)了使流體呈龍卷風(fēng)狀旋轉(zhuǎn)、利用離心力和重力分離粉塵的流路,從而大幅提高了抗粉塵性等。另外,外形尺寸也僅為27mm×22mm×9.8mm,體積只有原型號(hào)“D6F-W01A1”(41mm×20mm×15.1mm)的1/2。 該流量傳感器為準(zhǔn)確控制家庭及辦公室的空調(diào)為目的開發(fā)而成。具有小型、可輕松嵌入機(jī)器、靈敏度高、可靠性出色的特點(diǎn)。
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