PIMetro?運(yùn)動解決方案

　　·可重復(fù)的快速步進(jìn)與穩(wěn)定運(yùn)動

　　·可靠且高質(zhì)量的大規(guī)模中國本地化生產(chǎn)

　　·符合ISO 14644潔凈室5級標(biāo)準(zhǔn)

　　·先進(jìn)ACS控制功能：龍門控制，2D映射

　　·遵循全球設(shè)計(jì)和計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)

　　·模塊化和可擴(kuò)展，支持定制

　　·快速、準(zhǔn)時(shí)交付：12周

　　·快速服務(wù)響應(yīng)：24小時(shí)內(nèi)

　　1、θ軸 – 晶圓或基板的精細(xì)旋轉(zhuǎn)分度和對準(zhǔn)

　　·高精度且可重復(fù)的360度旋轉(zhuǎn)，無空回

　　·磁性直接驅(qū)動器可實(shí)現(xiàn)高速度和加速度

　　·直接驅(qū)動、無槽、無刷力矩電機(jī)可提供非常低的齒槽轉(zhuǎn)矩并實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)的速度和低誤差運(yùn)動

　　·超精密空氣軸承由內(nèi)部開發(fā)和制造

　　·進(jìn)一步提升性能，以優(yōu)化異步操作的性能規(guī)格

　　2、Z軸–精密晶圓對準(zhǔn)

　　·低型面高度、高負(fù)載、結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)異設(shè)計(jì)

　　·直驅(qū)音圈技術(shù)可實(shí)現(xiàn)零齒槽效應(yīng)、納米級步長的平滑運(yùn)動以及快速響應(yīng)

　　·高分辨率編碼器可實(shí)現(xiàn)運(yùn)動平臺的納米級定位

　　·高精度防蠕動交叉滾柱軸承

　　·氣動平衡系統(tǒng)可防止電機(jī)過熱并避免碰撞

　　·經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，交付快捷

　　3、XY軸–精密步進(jìn)和穩(wěn)定運(yùn)動

　　·安裝在基軸上的高動態(tài)耦合無鐵芯直線電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)強(qiáng)勁、快速的精密運(yùn)動

　　·雙編碼器系統(tǒng)可確保電機(jī)與偏轉(zhuǎn)角對準(zhǔn)，同時(shí)實(shí)現(xiàn)高分辨率和高精度

　　·低型面高度多軸承剛性平臺可減少阿貝偏移，并實(shí)現(xiàn)更高的平面度和直線度

　　·設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)高度的靈活性和定制能力

　　·優(yōu)化的集成電纜管理可減少運(yùn)動阻力并延長使用壽命

　　·花崗巖底座可確保運(yùn)動系統(tǒng)的較高性能

　　·選裝有源隔振系統(tǒng)

　　薄膜厚度測量應(yīng)用

　　·在半導(dǎo)體制造過程中，在硅片上沉積了多個(gè)電介質(zhì)層

　　·薄膜厚度測量用于測量各層的正確厚度

　　·通常使用光學(xué)技術(shù)“橢圓偏振法”

　　·橢圓偏振法測量光在薄膜表面上反射后的偏振度，從而可以確定這種層的厚度，直至埃水平

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　　從晶圓級到芯片封裝

　　整個(gè)價(jià)值鏈的運(yùn)動和定位解決方案