半導(dǎo)體制造流程復(fù)雜、廠房環(huán)境要求苛刻，驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈上下游向高水平的自動(dòng)化、智能化前進(jìn)。近年來，伴隨國(guó)家對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)的持續(xù)加大投入與重視，國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商也日益增多，各種特色方案層出不窮。

3月20—22日，半導(dǎo)體行業(yè)的開年盛會(huì)——SEMICON China 2024在上海新國(guó)際博覽中心盛大舉行。作為半導(dǎo)體行業(yè)最具規(guī)模和影響力的展會(huì)，今年SEMICON China覆蓋芯片設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、設(shè)備、材料、光伏、顯示等半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。

半導(dǎo)體制造流程復(fù)雜、廠房環(huán)境要求苛刻，驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈上下游向高水平的自動(dòng)化、智能化前進(jìn)。近年來，伴隨國(guó)家對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)的持續(xù)加大投入與重視，國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商也日益增多，各種特色方案層出不窮。

3月20—22日，半導(dǎo)體行業(yè)的開年盛會(huì)——SEMICON China 2024在上海新國(guó)際博覽中心盛大舉行。作為半導(dǎo)體行業(yè)最具規(guī)模和影響力的展會(huì)，今年SEMICON China覆蓋芯片設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、設(shè)備、材料、光伏、顯示等半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。

三菱電機(jī)自動(dòng)化(中國(guó))有限公司高級(jí)銷售工程師 尚甲玉

成熟方案，落地應(yīng)用

三菱電機(jī)一直以來十分重視半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展與合作，憑借豐富的產(chǎn)品陣容與強(qiáng)大的本土開發(fā)能力，圍繞安全高效的通信以及空間利用率、生產(chǎn)效率與良品率提升等核心問題，以先進(jìn)FA 技術(shù)為基礎(chǔ)不斷升級(jí)整體解決方案，為半導(dǎo)體制造設(shè)備及生產(chǎn)工廠提供技術(shù)支持。

在SEMICON China 2024展會(huì)(展臺(tái)號(hào)：T2館 T2148)上，三菱電機(jī)帶來了非常豐富的展示，不僅有相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)化硬件產(chǎn)品，同時(shí)也有定制化的軟硬件產(chǎn)品方案，例如定制中空軸電機(jī)、SECS通訊、OHT搬送方案、數(shù)字孿生、人工智能分析軟件等，均有非常成熟的解決方案并且已落地應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外多家知名半導(dǎo)體用戶。

具體而言，首先在半導(dǎo)體SECS通訊方面，三菱電機(jī)設(shè)計(jì)了兩套方案，一是通過專門開發(fā)的SECS/GEM硬件模塊(包含全面的SECS通訊標(biāo)準(zhǔn))，實(shí)現(xiàn)快速通訊，二是通過定制的軟件FB功能塊的方式，實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)易的SECS通訊，客戶可以根據(jù)實(shí)際需求自由選擇，在省人工、成本和節(jié)省開發(fā)周期方面都有非常大的優(yōu)勢(shì)。

第二，硬件產(chǎn)品方面，由于半導(dǎo)體行業(yè)中單片清洗、化學(xué)研磨、電鍍?cè)O(shè)備等工藝上擁有大量中空軸馬達(dá)的需求，三菱電機(jī)依據(jù)用戶的設(shè)備規(guī)格及工藝要求進(jìn)行深度定制，幫助客戶實(shí)現(xiàn)設(shè)備的性能完善和提升，長(zhǎng)期以來與國(guó)內(nèi)重要的設(shè)備企業(yè)一直保持緊密合作與聯(lián)合開發(fā)。

其次，隨著國(guó)內(nèi)12寸半導(dǎo)體晶圓廠的投資布局與日俱增，對(duì)于自動(dòng)化搬送的需求也相應(yīng)的增加，本次針對(duì)其中OHT設(shè)備即天車，三菱電機(jī)提出了FX5UC+MR-J5多軸一體式伺服的組合方案，幫助客戶實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化、無線供電、省配線、省空間、高速通訊等多方面的要求，并已經(jīng)在國(guó)內(nèi)的相關(guān)設(shè)備廠商獲得了成功的應(yīng)用，在不斷加大與國(guó)內(nèi)相關(guān)廠商合作的同時(shí)，三菱電機(jī)也致力于將更多成熟的產(chǎn)品應(yīng)用推廣到更多的設(shè)備端，幫助客戶實(shí)現(xiàn)快速開發(fā)。

再次，在當(dāng)前碳中和、碳達(dá)峰等節(jié)能減排的大背景下，能源管理早已成為重要的戰(zhàn)略課題之一。三菱電機(jī)日本工廠較早時(shí)間便導(dǎo)入能源管理系統(tǒng)，此外常熟工廠也已被國(guó)家工信部認(rèn)證為綠色工廠，在節(jié)能減排方面，三菱電機(jī)早已擁有十分豐富的經(jīng)驗(yàn)和完整的能源管理方案。

除了擁有配套的硬件產(chǎn)品，如處理各種數(shù)據(jù)的服務(wù)器和測(cè)量?jī)x器儀表等，還擁有配套數(shù)據(jù)分析軟件，能夠幫助用戶實(shí)現(xiàn)快速導(dǎo)入，全方位應(yīng)對(duì)客戶對(duì)于能源管理的需求;值得一提的是，針對(duì)部分既有項(xiàng)目，三菱電機(jī)也可以通過不改動(dòng)本體架構(gòu)的前提下實(shí)現(xiàn)能源管理、預(yù)防保全等多樣化功能。

最后，針對(duì)目前熱度頗高的人工智能、數(shù)字孿生、邊緣計(jì)算等前沿技術(shù)，三菱電機(jī)在此方面也早已布局，例如Mailab的數(shù)據(jù)分析診斷軟件，可以幫助用戶實(shí)現(xiàn)良品率的有效提升;3D仿真軟件Gemini，通過數(shù)字孿生方式幫助客戶優(yōu)化產(chǎn)線布局、提高生產(chǎn)效率;TSN整合式網(wǎng)絡(luò)可以更加高速且自由地布局產(chǎn)線網(wǎng)絡(luò)，達(dá)到串聯(lián)制程設(shè)備與自動(dòng)化設(shè)備聯(lián)動(dòng)生產(chǎn)的作用。

聯(lián)合開發(fā)，共創(chuàng)輝煌

近年來，國(guó)內(nèi)人工智能、新能源汽車、先進(jìn)封裝技術(shù)等智能化需求與日俱增，助推半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，與此同時(shí)也帶來更多高難度與創(chuàng)新性需求。為應(yīng)對(duì)行業(yè)機(jī)遇與挑戰(zhàn)，三菱電機(jī)從以下三方面重點(diǎn)發(fā)力。

一是快速組建團(tuán)隊(duì)，為了更快地響應(yīng)半導(dǎo)體行業(yè)用戶訴求，三菱電機(jī)組建了全球性的團(tuán)隊(duì)，并將用戶需求快速傳遞到日本的母工廠，依托強(qiáng)大的總部研發(fā)團(tuán)隊(duì)來配合客戶進(jìn)行產(chǎn)品、方案探討與改進(jìn)。

二是產(chǎn)品方面，三菱電機(jī)不僅儲(chǔ)備豐富的產(chǎn)品線，同時(shí)不斷嘗試將國(guó)外的先進(jìn)技術(shù)、理念和產(chǎn)品引進(jìn)到國(guó)內(nèi)，幫助用戶快速完成設(shè)備的開發(fā)。

三是為了更好地貼近國(guó)內(nèi)用戶，快速發(fā)現(xiàn)及響應(yīng)行業(yè)的開發(fā)定制需求，三菱電機(jī)相繼成立中國(guó)共創(chuàng)中心、新產(chǎn)品戰(zhàn)略研發(fā)推進(jìn)室。例如，在為半導(dǎo)體定制化開發(fā)方面，針對(duì)半導(dǎo)體封測(cè)領(lǐng)域的芯片分選設(shè)備，客戶反饋因壓力控制不當(dāng)導(dǎo)致芯片破損從而影響良品率和生產(chǎn)節(jié)拍，三菱電機(jī)通過開發(fā)專用的伺服功能包插件，實(shí)現(xiàn)恒力保壓、碰撞檢知、飛拍等三大功能，目前這項(xiàng)專有技術(shù)已經(jīng)被芯片分選設(shè)備這一細(xì)分領(lǐng)域的龍頭企業(yè)廣泛應(yīng)用。

漫漫前路上，盡管困難與挑戰(zhàn)重重，作為半導(dǎo)體行業(yè)當(dāng)中重要的參與者，三菱電機(jī)有信心乘著行業(yè)發(fā)展的東風(fēng)，與客戶聯(lián)合開發(fā)并逐一突破，創(chuàng)造出更優(yōu)的價(jià)值，實(shí)現(xiàn)齊頭并進(jìn)，共創(chuàng)輝煌。