氣浮轉(zhuǎn)臺的原理及特點
氣浮轉(zhuǎn)臺是一種集成了直驅(qū)電機、編碼器、采用氣浮軸承來實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運動的產(chǎn)品。它通過向軸承腔體輸入壓縮空氣,由節(jié)流高壓空氣產(chǎn)生的氣膜將工件支撐起來,氣膜具有一定剛性及負(fù)載能力,從而支撐轉(zhuǎn)臺臺面懸浮及旋轉(zhuǎn)運動,同時保障軸系的軸向、徑向跳動精度。相比于傳統(tǒng)的機械轉(zhuǎn)臺,它具有更高的穩(wěn)定性和更精確的定位精度。
以下是某種氣浮軸承的原理示意圖。通過外部氣源供給壓力,氣體經(jīng)過節(jié)流器進入軸承間隙,然后連續(xù)地從軸承外緣排入大氣。
雅科貝思?xì)飧∞D(zhuǎn)臺
雅科貝思已推出標(biāo)準(zhǔn)品AAR200-A氣浮轉(zhuǎn)臺,臺面直徑為200mm,總高度90mm。其“矮胖”的身材可以有效降低系統(tǒng)的高度,并且盡可能減少堆疊誤差,中孔設(shè)計方便線纜或真空管道通過。
經(jīng)過測試該轉(zhuǎn)臺具有低速度波動,優(yōu)秀的軸系回轉(zhuǎn)精度以及非常好的的定位精度。
雅科貝思?xì)飧∞D(zhuǎn)臺的優(yōu)點與應(yīng)用場景
01、采用氣體靜壓氣浮技術(shù),和動壓技術(shù)比,它承載力和剛度更大,穩(wěn)定性更易控制。
02、氣浮軸承的氣體粘度低、摩阻低、振動噪音小。
03、氣浮軸承無需潤滑油,實現(xiàn)了免維護,并且 清潔無污染、壽命久。
04、氣浮轉(zhuǎn)臺通常采用無鐵芯直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機,因此無齒槽效應(yīng),能實現(xiàn)高定位精度、運行阻尼小、高速度穩(wěn)定性等特點。
05、軸系的軸向和徑向回轉(zhuǎn)精度可達(dá)到納米級別,同時具有非常優(yōu)秀的絕對定位精度和重復(fù)定位精度。
應(yīng)用場景:
光 學(xué)
光學(xué)檢測、光通信、光學(xué)對準(zhǔn)、激光精密加工
測 量
三坐標(biāo)檢測儀、測角儀、柱狀體三維形貌檢測、偏心儀、圓度儀
裝 配
精密同心裝配、裝夾
晶圓檢測、晶圓對準(zhǔn)、研磨機/減薄機
其 他
科研院校
針對不同應(yīng)用領(lǐng)域和客戶需求,我們還將陸續(xù)推出其他標(biāo)準(zhǔn)型號,同時也可接受客戶定制需求。
高精密氣浮轉(zhuǎn)臺以其高穩(wěn)定性、高精度、低維護等優(yōu)點,正成為精密測量和精密加工領(lǐng)域的重要選擇。雅科貝思?xì)飧∞D(zhuǎn)臺更是憑借其卓越的性能和應(yīng)用廣泛的標(biāo)準(zhǔn)品以及靈活的定制服務(wù),贏得了客戶的廣泛認(rèn)可。
歡迎了解更多產(chǎn)品詳情,可聯(lián)系我們的專業(yè)團隊(cust-service@akribis-sys.cn)。