應(yīng)用案例

　　力矩電機(jī)在光學(xué)檢測(cè)中的應(yīng)用

　　行業(yè)背景

　　近年來，在半導(dǎo)體、光伏行業(yè)中，力矩電機(jī)得到了越來越廣泛的推廣和應(yīng)用。在這些應(yīng)用中，大部分運(yùn)動(dòng)要求都是點(diǎn)到點(diǎn)，即運(yùn)動(dòng)過程并非重點(diǎn)關(guān)注項(xiàng)，而是著重關(guān)注到位精度，因此對(duì)電機(jī)的重復(fù)精度提出了高要求。

　　此類應(yīng)用普遍都要求電機(jī)的重復(fù)精度在±1~±2角秒之間(1角秒=1/3600度)，較少關(guān)注電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的速度波動(dòng)情況，對(duì)于客戶來說只要到位精度準(zhǔn)確，便基本不影響應(yīng)用。

　　客戶需求

　　然而，有些特殊的應(yīng)用場(chǎng)景卻對(duì)電機(jī)提出了不一樣的要求。

　　橢偏儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量設(shè)備。通常使用雙電機(jī)運(yùn)行，對(duì)位置輕微波動(dòng)十分敏感，因此它對(duì)電機(jī)的速度波動(dòng)要求極高。

　　當(dāng)電機(jī)運(yùn)行在1000rpm左右時(shí)，電機(jī)的速度波動(dòng)率需控制在千分之一至萬分之一以內(nèi)。此外，該應(yīng)用對(duì)電機(jī)的軸跳精度要求也較高，通常要求電機(jī)的軸跳在5um以內(nèi)。

　　產(chǎn)品推介

　　力矩電機(jī)

　　雅科貝思力矩電機(jī)——ACD系列電機(jī)是無鐵芯無刷電機(jī)，不會(huì)產(chǎn)生任何齒槽扭矩，從而可以實(shí)現(xiàn)平滑運(yùn)動(dòng)以及較低的速度脈動(dòng)。獨(dú)特的繞組設(shè)計(jì)使其擁有高扭矩密度。

　　ACD系列

　　電機(jī)采用無鐵芯設(shè)計(jì)，無齒槽扭矩，低速度波動(dòng)

　　集成高精密軸承，標(biāo)準(zhǔn)品軸向徑向端跳可低至10μm(經(jīng)過特殊定制可達(dá)5μm)

　　內(nèi)置高精度光柵編碼器，電機(jī)重復(fù)精度可達(dá)±3arcsec

　　中孔設(shè)計(jì)，12mm~25mm，方便客戶走線以及布局光學(xué)反饋設(shè)備

　　定制化解決方案

　　ACD系列作為雅科貝思標(biāo)準(zhǔn)品電機(jī)應(yīng)用于各行各業(yè)之中，但在端跳、速度波動(dòng)等一些參數(shù)方面暫時(shí)無法滿足類似橢偏儀這樣的設(shè)備。

　　因此，在ACD系列的基礎(chǔ)上，雅科貝思經(jīng)過數(shù)月的持續(xù)研發(fā)升級(jí)，及多輪產(chǎn)品迭代，最終開發(fā)出能完美匹配此類對(duì)速度波動(dòng)有極高要求的產(chǎn)品。

　　無論是正裝還是側(cè)裝，其速度波動(dòng)率均可實(shí)現(xiàn)0.05%(實(shí)測(cè)基于1200rpm，搭配合適驅(qū)動(dòng))。從實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)看，新研發(fā)產(chǎn)品已達(dá)到該應(yīng)用領(lǐng)域的一流設(shè)計(jì)水準(zhǔn)。

　　同時(shí)，電機(jī)的軸跳可以輕松實(shí)現(xiàn)5μm以內(nèi)精度。

新研發(fā)產(chǎn)品速度波動(dòng)實(shí)測(cè)結(jié)果

新研發(fā)產(chǎn)品軸跳測(cè)試實(shí)測(cè)結(jié)果

　　更多應(yīng)用

　　除橢偏儀外，其他多種需要光學(xué)反饋的高精密、低速度波動(dòng)應(yīng)用均可使用該電機(jī)，例如所有與光學(xué)檢測(cè)相關(guān)的應(yīng)用、恒速配藥行業(yè)等。

　　產(chǎn)品一經(jīng)推出，便吸引了眾多客戶的興趣。經(jīng)過多方嚴(yán)格測(cè)試，越來越多的行業(yè)頭部企業(yè)對(duì)該產(chǎn)品給予了肯定，并與雅科貝思進(jìn)行了深度合作。

　　雅科貝思能依據(jù)不同客戶的不同需求，定制專業(yè)的有針對(duì)性的全套解決方案，研發(fā)出多款定制型號(hào)。

　　如需具體參數(shù)，請(qǐng)致電雅科貝思。