談及半導體設(shè)備，人們想到的往往是精心設(shè)計的光路、機弦嘔啞的運動臺、嚴絲合縫的真空腔等，因為這些硬件系統(tǒng)機電構(gòu)件的品質(zhì)是半導體設(shè)備核心競爭力的直觀體現(xiàn)。

　　伴隨著半導體器件技術(shù)等級的不斷提高、需求量的日益增加，自動化控制軟件的重要性也開始逐漸顯現(xiàn)了出來。這是因為，雖然半導體設(shè)備中的自動化控制軟件似乎不太被人們所熟知，但它們實際上卻是精密機械部件之間協(xié)調(diào)運作的控制指揮者，猶如神經(jīng)中樞般地控制著每一組設(shè)備乃至整條生產(chǎn)線。

　　而作為控制中樞，半導體設(shè)備的控制軟件應(yīng)該要兼具如下三個特征：一是高穩(wěn)定性，就是在運行過程中必須要極少出差錯甚至不出差錯，并能提供同步實時監(jiān)控;二是易拓展性，便于根據(jù)客戶的需求來增添設(shè)備的功能、集成多種設(shè)備;三是易維護性，能夠比較方便地進行固件升級，并對機器的維護進行預(yù)測。

　　日前，江蘇集萃蘇科思科技有限公司的周怡帆，向筆者詳細介紹了Sioux在高度復(fù)雜的半導體設(shè)備控制軟件方面所積累的具有獨特性的解決方案——蘇科思設(shè)備架構(gòu)平臺SEAP(Sioux Equipment Architecture Platform)。

　　據(jù)了解，作為在“機電一體化”一站式解決方案領(lǐng)域的引領(lǐng)者之一，Sioux于1996年由Hans Duisters與Erik van Rijswijk在荷蘭埃因霍溫創(chuàng)辦，其主要的競爭優(yōu)勢體現(xiàn)在包含軟件、機械、光學、物理、機電、電子、數(shù)學和物聯(lián)網(wǎng)等諸多方面的跨學科整合能力。目前，Sioux在全球有超過800位的研發(fā)工程師，與飛利浦、賽默飛世爾、阿斯麥、博世、庫力索法、蔡司等100多家高科技企業(yè)保持著良好的合作關(guān)系。2019年，Sioux與江蘇省產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院和蘇州高鐵新城合作，在蘇州成立了聯(lián)合研發(fā)中心(江蘇集萃蘇科思科技有限公司)。

　　據(jù)介紹，基于SEAP架構(gòu)平臺，Sioux在過去十余年間已經(jīng)成功開發(fā)了與封裝光刻機、臺式掃描電鏡、數(shù)字病例掃描儀等多種不同設(shè)備相匹配的系統(tǒng)控制軟件，并希望通過人工智能的助力來提升多個半導體設(shè)備之間的協(xié)同能力，以進一步提高晶圓廠的生產(chǎn)效率。

　　同時，Sioux的算法團隊在數(shù)字孿生、預(yù)測性維護、流程優(yōu)化等方面都已積累了相當?shù)捻椖拷?jīng)驗。例如，通過對高維數(shù)據(jù)分析，使得不能直接觀察到的生產(chǎn)參數(shù)偏移被識別出來;通過分析多維度的生產(chǎn)數(shù)據(jù)時間序列，來預(yù)測設(shè)備維護以及優(yōu)化設(shè)備下線維護時間;通過分析晶圓圖像的統(tǒng)計數(shù)據(jù)，將晶圓快速分類，并識別出問題批次等。