電容式傳感器溫度穩(wěn)定性好,電容式傳感器的電容的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料；又因?yàn)殡娙萜鞅旧淼膿p耗非常小，所以發(fā)熱很??；因此，傳感器具有良好的零點(diǎn)穩(wěn)定性，由于自身發(fā)熱而引起的零漂可以認(rèn)為是不存在的。
電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、適應(yīng)性強(qiáng)。電容傳感器的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造．易于保證較高的精度；可以做的非常小巧。以實(shí)現(xiàn)某些特殊測(cè)量；出于不用有機(jī)材料和磁性材料，能承受很大的溫度變化和各種輻射及強(qiáng)磁場(chǎng)作用，可以在惡劣環(huán)境中工作；也可以在許多各向同性電介質(zhì)液體中上作。
電容式傳感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)好。電容式傳感器極板間的靜電引力很小，有電磁學(xué)理論我們知道，當(dāng)帶電極板的電位不變時(shí)，極板間的靜電引力可以直接得出結(jié)果。該傳感器還可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，具有平均效應(yīng)。例如利用電容式傳感器非接觸測(cè)量回轉(zhuǎn)軸的震動(dòng)或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當(dāng)采用非接觸測(cè)量時(shí)，電容式傳感器具有平均效應(yīng)?？梢詼p少工件表面粗糙度等對(duì)測(cè)量的影響。
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