光電所URE-2000系列紫外深度光刻機獲半導體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎

時間：2008-03-12

來源：中國傳動網(wǎng)

導語：中科院光電所研發(fā)的URE-2000系列紫外深度光刻機在評選中脫穎而出，獲得殊榮

編者按：近日，中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會、中國半導體行業(yè)協(xié)會、中國電子材料行業(yè)協(xié)會和《中國電子報》聯(lián)合舉辦了2007年度中國半導體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎評選。中科院光電所研發(fā)的URE-2000系列紫外深度光刻機在評選中脫穎而出，獲得殊榮。 該系列產(chǎn)品在分辨力增強技術(shù)、掩模對準技術(shù)、均勻照明曝光技術(shù)、工件臺技術(shù)、線條側(cè)壁增陡技術(shù)等關鍵單元技術(shù)上取得了新的突破，尤其在深度光刻中具有特色，對開展微電子、微光學、微機械系統(tǒng)、紅外器件、準LIGA及聲表面波等器件的研制和生產(chǎn)具有廣泛用途。產(chǎn)品以其領先的技術(shù)、突出的功能、可靠的品質(zhì)和優(yōu)質(zhì)的服務，為國內(nèi)外高等院校、科研單位、器件生產(chǎn)企業(yè)開展微細加工技術(shù)創(chuàng)新和生產(chǎn)提供了優(yōu)良裝備，受到國內(nèi)外眾多用戶的青睞和好評，有力地促進了我國微細加工技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。產(chǎn)品遠銷朝鮮、新加坡、越南等國。 據(jù)悉，此次參選的創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)范圍包括集成電路產(chǎn)品、集成電路制造技術(shù)、半導體器件、封裝與測試技術(shù)、半導體設備與儀器、半導體材料。評選條件是產(chǎn)品必須擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，具有創(chuàng)新性和先進性，產(chǎn) 品或技術(shù)已經(jīng)得到實際應用，并在產(chǎn)業(yè)化方面取得一定進展，研發(fā)主體為國內(nèi)企事業(yè)單位。
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