探索未來: Z 軸定位平臺(tái)助力智能驅(qū)動(dòng)

文:文 / 雅科貝思2024年第六期

導(dǎo)語:工業(yè)、醫(yī)療、生命科學(xué)和半導(dǎo)體行業(yè)正面臨提高生產(chǎn)效率和投資回報(bào)率的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。為了實(shí)現(xiàn)預(yù)期的生產(chǎn)目標(biāo),自動(dòng)化設(shè) 備必須具備更高的速度和精度,這要求其運(yùn)動(dòng)部件在定位和性能方面不能妥協(xié)。在此背景下,垂直或Z軸定位平臺(tái)成為關(guān)鍵組 件,本文將探討高精度Z軸定位平臺(tái)在各行業(yè)自動(dòng)化設(shè)備中的主要優(yōu)勢(shì)。

  Z軸定位平臺(tái)是一種電動(dòng)裝置,能夠在不偏離線性路徑 的情況下,沿垂直方向精確移動(dòng)負(fù)載,特別適用于取放、檢 驗(yàn)、點(diǎn)膠、設(shè)備檢測(cè)、3D打印以及其他材料處理或一般工業(yè) 應(yīng)用,發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。為確保高性能設(shè)備的最佳效 果,選擇具備以下特性的Z軸定位平臺(tái)至關(guān)重要:

  ? 直驅(qū)技術(shù)

  直驅(qū)電機(jī)因其高推力和低發(fā)熱特性而備受青睞。高推力 常數(shù)確保精準(zhǔn)和可重復(fù)的定位能力,支持快速加速和減速, 并減少齒槽效應(yīng);

  ? 有效重力補(bǔ)償

  Z軸直驅(qū)模塊需配備有效的重力補(bǔ)償方案。在該模塊 中,磁彈簧的應(yīng)用比機(jī)械彈簧或氣缸更具優(yōu)勢(shì)。它通過動(dòng)定 子內(nèi)永磁體之間的相互作用產(chǎn)生力,無需外部電源或控制。 該裝置在其行程范圍內(nèi),能夠保持恒定的方向和穩(wěn)定的大 小,確保有效的負(fù)載平衡;

  ? 緊湊型設(shè)計(jì)

  在高精度半導(dǎo)體設(shè)備及其他亞微米級(jí)定位要求的應(yīng)用 中,精確的垂直定位至關(guān)重要。Z軸直驅(qū)模塊具有緊湊尺 寸,適應(yīng)有限的內(nèi)部空間,同時(shí)滿足高精度的定位需求。

  在機(jī)械加工和制造過程中,Z軸代表工具或工件定位的 垂直方向。正確的 Z 軸對(duì)準(zhǔn)至關(guān)重要,因?yàn)樗苯佑绊懼圃? 零件的尺寸精度、表面光潔度和整體質(zhì)量。不準(zhǔn)確的Z軸定 位可能會(huì)導(dǎo)致特征錯(cuò)位、材料去除過多或不足,進(jìn)而對(duì)零件 的完整性產(chǎn)生負(fù)面影響。

  為了應(yīng)對(duì)Z軸定位在實(shí)際應(yīng)用中的挑戰(zhàn),雅科貝思專門 研發(fā)了兩款高精度Z軸定位模組,可廣泛應(yīng)用于亞微米級(jí)定 位、光學(xué)對(duì)位、各行業(yè)自動(dòng)化設(shè)備點(diǎn)到點(diǎn)高速定位等應(yīng)用, 特別是以下幾個(gè)典型領(lǐng)域:半導(dǎo)體計(jì)量與晶圓制造;執(zhí)行掃 描操作的成像系統(tǒng);微孔板的高通量處理;需要細(xì)胞選擇和 高精度放置的細(xì)胞治療,以支持再生醫(yī)學(xué)技術(shù)等等。

  對(duì)于這些需要高精度定位的應(yīng)用,如半導(dǎo)體制造或醫(yī)療儀器,雅科貝思的Z軸定位模組在研發(fā)之初就將低傳動(dòng)誤差 和高定位精度作為首要目標(biāo)。此外,針對(duì)不同應(yīng)用的工作環(huán) 境和使用條件,雅科貝思在材料選擇上也十分重視,確保模 組具備耐磨損、耐腐蝕特性以及易于維護(hù)。

  AFC90系列模組

  雅科貝思AFC90系列模組是一款由直線電機(jī)、雙導(dǎo)軌、 編碼器位置反饋以及結(jié)構(gòu)底座組成的緊湊型直線模組,行程 可達(dá)500mm,具有靈活的安裝方式,可搭配雅科貝思其他 模組疊加成XY平臺(tái)。

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  AFC90SMZ系列模組

  雅科貝思AFC90SMZ系列模組是AFC90系列的衍生Z軸產(chǎn) 品,搭載AFC90直線模組,使用磁力彈簧平衡重力,是緊湊 型高性能運(yùn)動(dòng)臺(tái),重復(fù)定位精度可達(dá)±0.5μm。AFC90SMZ也 可以與AFC90線性模組組合,形成X-Y或X-Y-Z模組。

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