音圈電機(jī)

　　在半導(dǎo)體制造、高速拾取和放置以及生物醫(yī)學(xué)等具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用中， 短距離、精準(zhǔn)定位、精確力控制、快速響應(yīng)至關(guān)重要。盡管傳統(tǒng)的滾珠絲杠和絲杠型軸承是常見的選擇，而音圈電機(jī)往往被忽視，但實(shí)際上它們以具有競爭力的成本提供了高精度和可重復(fù)的小位移，尤其在特殊環(huán)境下表現(xiàn)優(yōu)異。本文將以雅科貝思的產(chǎn)品為例，探討音圈電機(jī)的優(yōu)勢。

　　Q音圈電機(jī)的優(yōu)勢是什么?

　　音圈電機(jī)的設(shè)計(jì)簡單緊湊，由磁性外殼和線圈組成，采用單極設(shè)計(jì)，無需換相。這種設(shè)計(jì)使得它的電壓極性和電流控制變得非常容易。此外，音圈電機(jī)具有低遲滯、低電感和質(zhì)心移動質(zhì)量，這使得它們能夠?qū)崿F(xiàn)高速度和高加速度。

　　Q音圈電機(jī)可以應(yīng)用在哪些行業(yè)?

　　??半導(dǎo)體制造：音圈電機(jī)非常適合短距離移動。在光刻過程中，它們能夠?qū)崿F(xiàn)快速而精確的運(yùn)動，控制振動以及調(diào)整光學(xué)元件的焦距。此外，音圈電機(jī)的高速度特別適合于板和線的粘合及拾取設(shè)備。一些雅科貝思的音圈電機(jī)甚至可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)200g的加速度。相比于滾珠絲杠，許多音圈電機(jī)能夠在真空和潔凈環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，避免氣體泄漏和污染。

　　??生物醫(yī)學(xué)設(shè)備：對于生物醫(yī)學(xué)設(shè)備設(shè)計(jì)師而言，音圈電機(jī)提供了比傳統(tǒng)伺服電機(jī)更高的精度，且成本更低。緊湊設(shè)計(jì)滿足體積日益縮小的設(shè)備需求，同時低遲滯特性使得它們在分配輕質(zhì)材料方面表現(xiàn)出色。結(jié)合編碼器使用時，音圈電機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)亞微米級的高精度力和位置控制。

　　??自動化生產(chǎn)：音圈電機(jī)在半導(dǎo)體制造中的高速性能同樣使其適用于自動化應(yīng)用，如拾取和放置、進(jìn)料以及需要精確鏡頭自動對焦的檢測任務(wù)。

　　??激光微加工：激光振鏡的Z軸可以利用音圈電機(jī)來精確調(diào)節(jié)激光束在Z方向的位置，從而實(shí)現(xiàn)高效的激光加工和成型。通過音圈電機(jī)，系統(tǒng)可以快速地調(diào)整激光焦點(diǎn)的位置，以適應(yīng)不同材料的厚度和表面特性，應(yīng)對各種復(fù)雜的加工任務(wù)，例如切割、雕刻和打標(biāo)等。

　　文中視頻均來源于網(wǎng)絡(luò)

　　AVM系列

　　圓柱形

　　AVA系列

　　方形

　　在雅科貝思，高性能音圈電機(jī)涵蓋多種尺寸和力密度。這些設(shè)備利用永磁直接驅(qū)動電機(jī)技術(shù)，提供了高功率質(zhì)量比、高加速度和快速響應(yīng)，幾乎沒有滯后和齒槽效應(yīng)。此外，由于線圈與磁鋼不接觸，音圈電機(jī)的磨損幾乎可以忽略不計(jì)，降低長期使用中的維護(hù)成本。客戶可以選擇我們的AVM系列標(biāo)準(zhǔn)圓柱形音圈電機(jī)或AVA系列緊湊設(shè)計(jì)的方形音圈電機(jī)，這兩款產(chǎn)品擁有極具競爭力的性價比，能夠幫助客戶在提高性能的同時控制預(yù)算。

　　對于需要高連續(xù)峰值力的應(yīng)用，雅科貝思可提供配備無刷AVM音圈電機(jī)的平臺模組。這些模組能夠在緊湊的單元中提供卓越的剛度、快速加速和快速沉降，并實(shí)現(xiàn)高精度、高響應(yīng)、高剛性和高穩(wěn)定性。

　　雅科貝思也可以根據(jù)客戶的需求定制音圈電機(jī)，甚至可以集成高精度的力反饋傳感器。音圈模組也可以配備交叉滾子軸承(CRB)，確保亞微米級的分辨率。