圖1. XLSCAN平臺(tái)振鏡聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)

　　XLSCAN 簡介

　　在應(yīng)用振鏡的激光系統(tǒng)中，加工范圍通常受限于振鏡的加工范圍。大幅面加工中通常采用平臺(tái)與振鏡交替工作的方式將整個(gè)加工幅面分割成若干份分別加工，這種方法帶來的問題是加工精度受到拼接誤差的限制。為了克服這個(gè)限制，ACS與SCANLAB聯(lián)合開發(fā)了XLSCAN系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了機(jī)械平臺(tái)與振鏡的同步控制。

　　XLSCAN 目標(biāo)市場

　　大幅面打標(biāo)，切割，蝕刻

　　薄膜加工

　　玻璃加工

　　PCB鉆孔

　　2PP(多光子聚合)

　　XLSCAN主要優(yōu)勢

　　? 可連續(xù)擴(kuò)展加工范圍

　　? 顯著提高產(chǎn)能(特定圖樣可較傳統(tǒng)方案提高40%以上的效率)

　　? 無拼接誤差

　　? 高精度

　　? 可在輕微平臺(tái)震動(dòng)的前提下實(shí)現(xiàn)平順的高動(dòng)態(tài)加工

圖2. 聯(lián)動(dòng)加工(左)與拼接加工(右)在典型的圓孔加工過程中得到的精度對(duì)比

　　系統(tǒng)概述：

圖3. XLSCAN 系統(tǒng)概述

　　硬件配置

　　機(jī)械運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，ACS 驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)(包含協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊SLEC)，SCANLAB RTC6 振鏡卡& SCNALAB 振鏡頭，激光器及其他常規(guī)外設(shè)。該硬件配置為構(gòu)成XLSCAN系統(tǒng)的最基本配置，對(duì)于多振鏡多平臺(tái)的配置與本文介紹的配置會(huì)有差異，詳情請(qǐng)咨詢ACS中國代表處。

　　ACS系統(tǒng)參數(shù)配置說明：

　　EXTFAC ：

　　Eg1：ACS系統(tǒng)以微米為單位

　　則EXTFAC(axis)=

　　即：EXTFAC(X)=1 ;EXTFAC(Y)=1;

　　Eg2 ：ACS系統(tǒng)使用毫米作為運(yùn)動(dòng)單位

　　則EXTFAC(axis)= =0.001

　　即EXTFAC(X)= 0.001; EXTFAC(Y)= 0.001;

　　FOLLOWCH：

　　Eg1： system: EC+UDMhv+SLEC

　　SLEC node number 1:

　　> Axis 0 will follow channel 0

　　> Axis 2 will follow channel 1

　　在ACS buffer中配置如下:

　　FOLLOWCH(0) = 0x00010000;FOLLOWCH(2) = 0x00010001

　　在SCANLAB的XML文件中配置如下：

　　SCANLAB syncAXISSysConfig.xml xml file:

　　StageAxisX=0

　　StageAxisY=2

　　SlecEtherCATNodeID=1

　　DriveEtherCATNodeID=0

　　Eg2:

　　System：EC+ SLEC+ MC4U(8 axes)+ MC4U(8 axes)+ SLEC

　　SLEC node number 0:

　　> Axes 0 will follow channel 0

　　> Axes 1 will follow channel 1.

　　SLEC node number 3:

　　> Axes 8 will follow channel 0

　　> Axes 9 will follow channel 1.

　　在 ACS buffer中配置:

　　FOLLOWCH(0) = 0x00000000; FOLLOWCH(1) = 0x00000001

　　FOLLOWCH(8) = 0x00030000; FOLLOWCH(9) = 0x00030001

　　在syncAXISSysConfig_A.xml 文件中配置如下:

　　StageAxisX=0

　　StageAxisY=1

　　SlecEtherCATNodeID=0

　　DriveEtherCATNodeID=1

　　在syncAXISSysConfig_B.xml 文件中配置如下

　　StageAxisX=8

　　StageAxisY=9

　　SlecEtherCATNodeID=3

　　DriveEtherCATNodeID=3

　　常用軟件工具

　　· syncAXIS Configurator.exe---配置XML文件

　　· TrajectoryViewer.exe---仿真軌跡

· 圖4. syncAXIS Configurator軟件

· 圖5. TrajectoryViewer.exe(振鏡與平臺(tái)合成的2D軌跡)

· 圖6. TrajectoryViewer.exe(平臺(tái)自身的2D軌跡)

· 圖7. TrajectoryViewer.exe(振鏡自身的2D軌跡)

　　多平臺(tái)&多振鏡應(yīng)用簡介

　　很多場合下，多平臺(tái)多振鏡的方法靈活配置可以大大提高加工效率。

圖8. 多平臺(tái)-多振鏡方案

圖9. 目前多平臺(tái)多振鏡的可行方案

        其他特殊需求可以與ACS中國代表處溝通確認(rèn)