圖1. XLSCAN平臺振鏡聯(lián)動系統(tǒng)

　　XLSCAN 簡介

　　在應用振鏡的激光系統(tǒng)中，加工范圍通常受限于振鏡的加工范圍。大幅面加工中通常采用平臺與振鏡交替工作的方式將整個加工幅面分割成若干份分別加工，這種方法帶來的問題是加工精度受到拼接誤差的限制。為了克服這個限制，ACS與SCANLAB聯(lián)合開發(fā)了XLSCAN系統(tǒng)實現(xiàn)了機械平臺與振鏡的同步控制。

　　XLSCAN 目標市場

　　大幅面打標，切割，蝕刻

　　薄膜加工

　　玻璃加工

　　PCB鉆孔

　　2PP(多光子聚合)

　　XLSCAN主要優(yōu)勢

　　? 可連續(xù)擴展加工范圍

　　? 顯著提高產(chǎn)能(特定圖樣可較傳統(tǒng)方案提高40%以上的效率)

　　? 無拼接誤差

　　? 高精度

　　? 可在輕微平臺震動的前提下實現(xiàn)平順的高動態(tài)加工

圖2. 聯(lián)動加工(左)與拼接加工(右)在典型的圓孔加工過程中得到的精度對比

　　系統(tǒng)概述：

圖3. XLSCAN 系統(tǒng)概述

　　硬件配置

　　機械運動平臺，ACS 驅動控制系統(tǒng)(包含協(xié)議轉換模塊SLEC)，SCANLAB RTC6 振鏡卡& SCNALAB 振鏡頭，激光器及其他常規(guī)外設。該硬件配置為構成XLSCAN系統(tǒng)的最基本配置，對于多振鏡多平臺的配置與本文介紹的配置會有差異，詳情請咨詢ACS中國代表處。

　　ACS系統(tǒng)參數(shù)配置說明：

　　EXTFAC ：

　　Eg1：ACS系統(tǒng)以微米為單位

　　則EXTFAC(axis)=

　　即：EXTFAC(X)=1 ;EXTFAC(Y)=1;

　　Eg2 ：ACS系統(tǒng)使用毫米作為運動單位

　　則EXTFAC(axis)= =0.001

　　即EXTFAC(X)= 0.001; EXTFAC(Y)= 0.001;

　　FOLLOWCH：

　　Eg1： system: EC+UDMhv+SLEC

　　SLEC node number 1:

　　> Axis 0 will follow channel 0

　　> Axis 2 will follow channel 1

　　在ACS buffer中配置如下:

　　FOLLOWCH(0) = 0x00010000;FOLLOWCH(2) = 0x00010001

　　在SCANLAB的XML文件中配置如下：

　　SCANLAB syncAXISSysConfig.xml xml file:

　　StageAxisX=0

　　StageAxisY=2

　　SlecEtherCATNodeID=1

　　DriveEtherCATNodeID=0

　　Eg2:

　　System：EC+ SLEC+ MC4U(8 axes)+ MC4U(8 axes)+ SLEC

　　SLEC node number 0:

　　> Axes 0 will follow channel 0

　　> Axes 1 will follow channel 1.

　　SLEC node number 3:

　　> Axes 8 will follow channel 0

　　> Axes 9 will follow channel 1.

　　在 ACS buffer中配置:

　　FOLLOWCH(0) = 0x00000000; FOLLOWCH(1) = 0x00000001

　　FOLLOWCH(8) = 0x00030000; FOLLOWCH(9) = 0x00030001

　　在syncAXISSysConfig_A.xml 文件中配置如下:

　　StageAxisX=0

　　StageAxisY=1

　　SlecEtherCATNodeID=0

　　DriveEtherCATNodeID=1

　　在syncAXISSysConfig_B.xml 文件中配置如下

　　StageAxisX=8

　　StageAxisY=9

　　SlecEtherCATNodeID=3

　　DriveEtherCATNodeID=3

　　常用軟件工具

　　· syncAXIS Configurator.exe---配置XML文件

　　· TrajectoryViewer.exe---仿真軌跡

· 圖4. syncAXIS Configurator軟件

· 圖5. TrajectoryViewer.exe(振鏡與平臺合成的2D軌跡)

· 圖6. TrajectoryViewer.exe(平臺自身的2D軌跡)

· 圖7. TrajectoryViewer.exe(振鏡自身的2D軌跡)

　　多平臺&多振鏡應用簡介

　　很多場合下，多平臺多振鏡的方法靈活配置可以大大提高加工效率。

圖8. 多平臺-多振鏡方案

圖9. 目前多平臺多振鏡的可行方案

        其他特殊需求可以與ACS中國代表處溝通確認