Agnitron 利用 Agilis 兩用機開發(fā)了一套通過金屬有機物化學(xué)氣相淀積（MOCVD）技術(shù)制備半導(dǎo)體材料氧化鎵的系統(tǒng)。此外，該系統(tǒng)還能夠在需要時切換為其它材料。Agnitron 采用倍?；?PC 的控制技術(shù)，確保滿足用戶在研發(fā)中小型生產(chǎn)設(shè)備時所需的高可靠性和靈活的可擴展性。

改進消費電子產(chǎn)品中高壓開關(guān)的設(shè)計和生產(chǎn)后，化合物半導(dǎo)體氧化鎵（Ga2O3）有望帶來廣泛而令人激動的好處。然而，這種超寬帶隙化合物半導(dǎo)體的性能和用例必須首先得到如猶他大學(xué)電氣和計算機工程助理教授 Sriram Krishnamoorthy 博士等研究人員的證實。

在研究現(xiàn)有金屬有機物化學(xué)氣相淀積（MOCVD）設(shè)備時存在的限制可能導(dǎo)致無法滿足正確處理氧化鎵的定制、價格或可靠性要求。在探索新系統(tǒng)的同時，Krishnamoorthy 發(fā)現(xiàn)了化合物半導(dǎo)體研發(fā)公司 Agnitron 的 Agilis 平臺。

Agnitron 公司總裁兼 CEO Andrei Osinsky 于 2008 年在明尼蘇達州 Chanhassen 創(chuàng)立了公司，雖然很多 MOCVD 設(shè)備制造商已經(jīng)開始重點關(guān)注 LED 等大行業(yè)趨勢，但 Agnitron 的成立是為了向需求尚未得到滿足的細分市場提供新的解決方案。彼時公司已經(jīng)完成了對 β-氧化鎵應(yīng)用的研究，并開發(fā)了 Imperium MOVCD? 軟件以及 Agnitemp? 用于現(xiàn)場計量他們自己的系統(tǒng)。公司推出的 Agilis 兩用機只需稍微調(diào)整就可以在幾天時間內(nèi)將生長中的 β-氧化鎵轉(zhuǎn)換為 III 族氮化物半導(dǎo)體材料，而目前市面上其它 MOCVD 設(shè)備都無法提供此功能?；?PC 的控制技術(shù)的模塊化和靈活性簡化了此款多功能平臺的設(shè)計開發(fā)。

成本控制和可靠性是關(guān)鍵

一套新的 MOCVD 系統(tǒng)售價基本都超過 100 萬美元。即使 Agilis 機可以兩用， Agnitron 客戶投入的成本還是不低，而他們通常沒有像大型半導(dǎo)體制造商那樣的高額預(yù)算。然而，無論是在科研方面，還是在生產(chǎn)方面，客戶的要求都在不斷提高以達到高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，并堅持自己的生長配方。Agnitron 公司自動化和控制技術(shù)主管 Ivan Yunchyk 解釋道：“我們處在一個成本競爭非常激烈的市場。我們必須以盡可能最低的價格提供多功能解決方案，每個組件同時必須具有高可靠性和可重復(fù)性。”

Agnitron 公司高級首席工程師 Dmitri Volovik 博士補充道：“在這個行業(yè)收到的最好贊譽是客戶說設(shè)備和以前一樣好用。客戶需要花費數(shù)年的開發(fā)時間和數(shù)百萬美元來定義工藝流程，因此他們希望編程好的新系統(tǒng)能夠精確維護半導(dǎo)體制造工藝配方，不會出現(xiàn)意外停機情況。”事實上，當(dāng)時 Agnitron 公司前一家供應(yīng)商提供的自動化和控制系統(tǒng)的可靠性出現(xiàn)了問題，公司正瀕臨失去客戶的危險邊緣，恰在此時，他們在總部位于明尼蘇達州薩維奇附近的倍福自動化公司找到了全新的解決方案。

可為不同用戶定制模塊化系統(tǒng)

具備良好的模塊化功能的倍?？刂飘a(chǎn)品可以為 Agilis 系統(tǒng)提供兩種不同的控制解決方案：倍福搭載四核 Intel? Xeon? 處理器的CX2042 嵌入式控制器和搭載四核 Intel? core? i7 處理器的 CX2040 嵌入式控制器。

“我們提供標(biāo)配版 CX2040 滿足客戶的研發(fā)需求。” Dmitri Volovik 說道：“但客戶對內(nèi)存和處理速度的要求越來越高。我們的 Imperium 軟件和 SQL 數(shù)據(jù)庫必須在同一個硬件平臺上運行，以便支持更復(fù)雜的操作和更大量數(shù)據(jù)的采集以及滿足 Agnitemp 的計量要求，而搭載 Xeon? 處理器和 1 TB SSD 固態(tài)硬盤的 CX2042 控制器是實現(xiàn)全天候生產(chǎn)的最佳選擇。”

很多翻修和改造項目可以使用價格更經(jīng)濟實惠的 CX2040。如果現(xiàn)有的 PLC 還可以工作，公司只需簡單地用倍福的 C5102 機架安裝式工業(yè) PC 取代傳統(tǒng) PC 即可。在這兩種情況下，倍福硬件和軟件的向后兼容性確保能夠可靠地維護半導(dǎo)體生長配方。

通過在嵌入式控制器上使用 TwinCAT 3 自動化軟件，Agnitron 工程師可以通過 Visual Studio 用 C# 語言編寫設(shè)備控制邏輯。由于嵌入式控制基于 Windows 操作系統(tǒng)，因此他們可以安裝 Imperium 控制軟件并在本地存儲數(shù)據(jù)。通過使用基于 PC 的控制系統(tǒng)而不是單獨的 PC 和 PLC，Agilis 機器在控制硬件上節(jié)省了大約 10000 美元。

具有實時聯(lián)網(wǎng)能力，同時減少空間

EtherCAT 的實時聯(lián)網(wǎng)能力可以為 Agilis 帶來更多好處。EtherCAT 高密度端子模塊 EL3318 連接 Agilis 和 8 個不同的熱電偶，這在使用 β-氧化鎵和其它復(fù)雜半導(dǎo)體材料時至關(guān)重要。它們與其它 16 通道 I/O 端子模塊一起讓設(shè)備保持占地面積小的優(yōu)點。“控制柜內(nèi)部的空間變得越來越狹小，特別是一些較小的研發(fā)系統(tǒng)。”Dmitri Volovik 說道。“倍福的 EtherCAT I/O 和嵌入式控制器的緊湊性讓我們能夠在眾多的競爭對手中脫穎而出。”

EtherCAT 已經(jīng)成為半導(dǎo)體行業(yè)占據(jù)領(lǐng)先地位的工業(yè)以太網(wǎng)，目前已經(jīng)成為 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，而 DeviceNet 曾經(jīng)是業(yè)界應(yīng)用最為廣泛的標(biāo)準(zhǔn)。在現(xiàn)有設(shè)備中，EL6752 DeviceNet 主站/從站端子模塊用于連接 EtherCAT 網(wǎng)絡(luò)和 DeviceNet 現(xiàn)場設(shè)備。正如 Dmitri Volovik 所解釋的，EtherCAT 還簡化了開發(fā)工作：“有了 EtherCAT 工業(yè)以太網(wǎng)和 TwinCAT 開發(fā)環(huán)境，集成一個 DeviceNet 網(wǎng)絡(luò)只需花費數(shù)小時時間。而如果使用前一家供應(yīng)商提供的解決方案，這項工作則通常需要整整一周的時間。”

研究人員 Sriram Krishnamoorthy 認為，Agilis 兩用機正在改變研究機構(gòu)和半導(dǎo)體行業(yè)的游戲規(guī)則：“目前市場上還沒有一個平臺能夠提供這種服務(wù)。事實上，我還有一些懸而未決的提案，探索 III 族氮化物和氧化鎵整合在超高壓設(shè)備中的應(yīng)用，希望這個平臺能夠成為我在許多其它機構(gòu)進行的科研項目負擔(dān)得起的選擇。”