一、應用背景：

 

磁控濺射是一種磁控運行模式的二次濺射。此種技術廣泛應用于鍍膜設備上，它不僅適用于廣泛的鍍膜靶材（如：銅、鈦、鉻、不繡鋼、鎳等金屬材料），而且鍍膜時還可大幅度提高膜層的附著力、重復性、致密度和均勻度。

 

磁控濺射鍍膜設備主要是使用直流磁控濺射，常需要2路輸出穩(wěn)定的直流電源，設定一個電壓值后，要求快速響應到電壓的設定值。電源使用過程中必須保持穩(wěn)定性，電壓數值不能受負載影響。然而，市面上常用的開關電源為開環(huán)控制，無法確保穩(wěn)定輸出，而一個穩(wěn)定的電壓對鍍膜好壞至關重要，因此設想通過PLC的PID算法，利用現有的直流開關電源，實現電源的快速調節(jié)和閉環(huán)管理。

 

 

如上圖所示，在智能電源控制系統上需要4AI來檢測兩路直流穩(wěn)壓電源的電流信號和電壓信號，作為智能電源的反饋信號；需要使用2AO來控制電壓輸出，使電源具有良好的負載特性，保持恒壓輸出。    

 

綜合上述需求，PLC選擇海為的S20M0T的開關量與模擬量混合型主機，主機自帶4路AI模擬量線性輸入，2路AO模擬量線性輸出，模擬量支持工程量轉換，AI\AQ寄存器可直接訪問，在模擬量信號處理時非常方便，節(jié)省了不少編程時間；主機還支持32路的PID指令；更重要的是一個主機就搞定了，不需額外添加擴展模塊，經濟實惠。

 

 

二、現場使用情況：

 

現場圖片如下：

圖1 機箱正面圖

 

圖2 內部電路

 

圖3  PLC

 

圖4 觸摸屏界面

 

圖5 觸摸屏界面

 

圖6 機箱背面

 

圖7 模擬負載電阻

 

PID指令，即特殊控制指令里的PID指令，海為全系列PLC都支持。本系統根據負載的變化，在線監(jiān)控時結合軟件自帶的實時曲線表調整參數，逐一調整PID三個參數使之達到最好的效果。參數經過調試整定之后，實現了電壓的快速調節(jié)和穩(wěn)定輸出，實現了電源的閉環(huán)管理，為更好地磁控濺射鍍膜提供了良好的基礎。

    

 

三、使用感想：

 

本人初次使用海為PLC，感覺其編程軟件非常人性化，易于上手，技術人員和銷售人員都能及時提供相應的幫助，及時解決遇到的問題，在此，一并表示感謝！

 

希望海為PLC越做越好，為民族工業(yè)爭光。