產(chǎn)品頻道

　　產(chǎn)品介紹：

　　形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)

　　•[全新]數(shù)碼顯微系統(tǒng)觀察

　　•16bit激光彩色觀察

　　•[廣視野]WIDE-Scan

　　•[簡(jiǎn)便]AI-Scan

　　•高分辨率，大景深觀察

　　•仿佛彩色SEM

　　•無損輪廓和粗糙度測(cè)量

　　1臺(tái)機(jī)器便可以實(shí)現(xiàn)無與倫比的高分辨率大范圍形狀測(cè)量

　　產(chǎn)品特性

　　解決問題

　　激光掃描顯微系統(tǒng)可以解決所有的課題

　　使用激光顯微系統(tǒng)則可全部簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)

　　光學(xué)顯微鏡

　　提升倍率后，難以對(duì)焦，分辨率不足。

　　SEM

　　前處理或樣本尺寸等的準(zhǔn)備煩瑣，僅能以黑白色進(jìn)行觀察。

　　粗糙度儀

　　不能夠?qū)崿F(xiàn)一邊放大觀察，一邊對(duì)工件部位實(shí)施非破壞性的凹凸測(cè)量。

　　有限的分辨率和放大倍數(shù)

　　光盤坑(6000倍)

　　景深淺

　　刀尖(1000倍)

　　不支持可追溯性

　　高分辨率，最大放大24000倍

　　光盤坑（6000倍）

　　完全聚焦的清晰圖像

　　刀尖（1000倍）

　　符合溯源性要求

　　使用VK系列獲得的測(cè)量結(jié)果是高度可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)，并且符合國家標(biāo)準(zhǔn)溯源性。

　　顏色不能確定，因?yàn)閳D像是黑色和白色

　　墨粉(1000倍)

　　準(zhǔn)備與觀察需要大量時(shí)間

　　樣本大小是受限制的

　　由于受到樣本的大小或者樣本不適合在樣品室等原因的影響，觀察有時(shí)是不可能的。

　　16bit激光彩色觀察

　　墨粉（1000倍）

　　放置并且測(cè)量，您可以在幾秒鐘內(nèi)進(jìn)行分

　　各種樣品的測(cè)量

　　可拆卸測(cè)量頭單元允許各種尺寸的樣品測(cè)量?？刹鹦稖y(cè)量頭單元可以與其他設(shè)備整合并支持遠(yuǎn)程操作。

　　由于接觸探針造成樣本刮傷

　　鋁表面（200倍）

　　在屏幕上水平凹槽。

　　難以測(cè)量目標(biāo)

　　用觸筆擊中目標(biāo)的理想位置可能會(huì)產(chǎn)生一些問題，例如目標(biāo)為螺紋頂。

　　分辨率受限于觸筆尖端直徑

　　無法測(cè)量粗糙度小于測(cè)量?jī)x器的觸筆尖端的粗糙度的表面。

　　全方位性質(zhì)的清晰觀察

　　從光學(xué)觀察到類似于彩色SEM的高分辨率觀察

　　16bit激光彩色觀察

　　在大氣中以全方位性質(zhì)的分辨率實(shí)現(xiàn)全焦觀察。

　　光學(xué)觀察

　　全焦觀察

　　高分辨率激光黑白觀察

　　16bit激光彩色觀察

　　在大氣中以全方位性質(zhì)的分辨率實(shí)現(xiàn)全焦觀察。

　　通過短波長(zhǎng)激光全面掃描，能夠以光學(xué)顯微鏡無法實(shí)現(xiàn)的分辨率，按200至24000倍率*實(shí)現(xiàn)全焦觀察。

　　*VK-X200系列時(shí)

　　光學(xué)圖像

 

　　激光圖像盤片坑（6000倍）

　　以類似于SEM的分辨率實(shí)現(xiàn)真彩觀察。

　　對(duì)于由激光獲取到的各像素均已正確對(duì)焦的高度的色彩信息，由CCD相機(jī)按每１像素分別提取，再轉(zhuǎn)換成激光高分辨率圖像。

　　激光黑白圖像

　　16bit激光彩色圖像墨粉（1000倍）

　　可運(yùn)行所有表面形狀測(cè)量

　　對(duì)于拍攝到的圖像可自由測(cè)量

　　“想測(cè)量高低差·形狀實(shí)現(xiàn)數(shù)值化”

　　[剖面３D測(cè)量]

　　高度·寬度·角度截面積測(cè)量

　　對(duì)測(cè)量屏幕上任意指定的直線或曲線的橫截面輪廓，都可進(jìn)行“高度”、“寬度”、“橫截面”、“角度”、“R值”等測(cè)量。

　　基板高度差高度·寬度測(cè)量（1000倍）

　　微攝鏡頭R測(cè)量（1000倍）

　　表面積·體積測(cè)量

　　測(cè)量屏幕上任何指定區(qū)域的“體積”、“表面積”、“面積∶表面積之比”。

　　光學(xué)薄膜(1000倍)

　　太陽能電池表面積測(cè)量（1000倍）

　　“想要將表面狀態(tài)的差異實(shí)現(xiàn)數(shù)值化”

　　[可以精確測(cè)量線粗糙度和面粗糙度]

　　線粗糙度測(cè)量

　　可以一邊觀察2D或3D圖像，一邊避開頂點(diǎn)或異物，測(cè)量目標(biāo)部位的粗糙度。

　　面粗糙度測(cè)量

　　從視覺上來講存在差異，那么差異究竟有多大呢?可以測(cè)量面的粗糙度，通過數(shù)值確認(rèn)平均化后的差異。

　?。ɡ┕δ苄员∧さ陌导y（3000倍）

　　樣本A:Ra1.5μm

　　樣本B:Ra3.2μm

　　透明薄膜測(cè)量?jī)?nèi)置“獨(dú)特的算法”

　　不僅實(shí)現(xiàn)膜厚測(cè)量﹐還可獲取最表面和背面的形狀。

　　可對(duì)觀察視野整個(gè)區(qū)域執(zhí)行多層分析?？蓪?duì)已選的各層或多層進(jìn)行3D圖像顯示、橫截面輪廓顯示，可測(cè)量任意位置的形狀、薄膜厚度。

　　“想要一次性自動(dòng)拍攝·測(cè)量多個(gè)樣本”

　　[自動(dòng)測(cè)量具備規(guī)則圖形的工件]

　　自動(dòng)寬度·高度測(cè)量

　　對(duì)于具備規(guī)則圖形的工件的寬度·高度，按照設(shè)置條件自動(dòng)測(cè)量。由于是自動(dòng)測(cè)量，因此不會(huì)生成人員造成的誤差，可以在短時(shí)間內(nèi)完成測(cè)量。

　　光致抗蝕圖形（6000倍）

   　光學(xué)薄膜（1000倍）

　　全自動(dòng)測(cè)量

　　誰都可以實(shí)現(xiàn)和熟練人員一樣的測(cè)量

　  通過融入長(zhǎng)年專有經(jīng)驗(yàn)的AI-Scan，僅需按下“測(cè)量開始”按鈕，便能得到符合樣本的最佳設(shè)置，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。

　　[世界首創(chuàng)]AI-Scan3個(gè)功能

　　單擊測(cè)量開始按鈕便可實(shí)現(xiàn)

　　1.AAG功能

　　對(duì)受光組件的激光受光靈敏度運(yùn)行２項(xiàng)最佳調(diào)整。對(duì)于有斜度的樣本或混合存在明暗的樣本也可正確測(cè)量。

　　*AAG=AdvancedAutoGain

　　傳統(tǒng)方式

　　AAG功能

　　金剛石工具（400倍）

　　2.自動(dòng)上下限設(shè)置

　　對(duì)于樣本的上下限在整個(gè)畫面區(qū)域?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)識(shí)別和設(shè)置，在上下限范圍之內(nèi)運(yùn)行掃描和測(cè)量。

　　鏡頭自動(dòng)掃描

　　識(shí)別畫面內(nèi)的上下限,自動(dòng)設(shè)置為測(cè)量范圍。

　　3.雙掃描功能

　　識(shí)別到未有效拍攝的部分時(shí)，會(huì)自動(dòng)改變?cè)O(shè)置，運(yùn)行二次拍攝，獲取正確的數(shù)據(jù)。

　　單掃描時(shí)

　　雙掃描后

　　焊錫（200倍）

　　廣視野的測(cè)量

　　通過WIDE-Scan簡(jiǎn)單·高速地實(shí)現(xiàn)廣視野的測(cè)量。

　　課題1

　　視野狹窄的話，無法明確正在觀察哪個(gè)部位。還想觀察周圍。

　　使用WIDE的話則可一目了然，不會(huì)發(fā)生測(cè)量部位的錯(cuò)誤。

　　想要提升倍率實(shí)現(xiàn)高精度的觀察·測(cè)量時(shí)，有時(shí)會(huì)因視野狹窄而不明白正在觀察哪個(gè)部位。按照對(duì)應(yīng)目標(biāo)分辨率的倍率使用WIDE-Scan的話，則可簡(jiǎn)單地獲取到廣視野的高分辨率3D圖像。之后對(duì)觀察部位也可做到一目了然。

　　課題2

　　關(guān)于局部性的測(cè)量，會(huì)因拍攝部位不同而使數(shù)據(jù)生成偏差。

　　使用WIDE的話，則可一次性測(cè)量多個(gè)部位并實(shí)施平均化處理。

　　測(cè)量數(shù)量少的部位時(shí)，會(huì)因選擇不同部位使數(shù)值生成偏差。使用WIDE-Scan的話，則可簡(jiǎn)單獲取到廣視野的高分辨率3D圖像。能夠輕松地測(cè)量多個(gè)部位，并實(shí)施平均化處理，使最終判斷不會(huì)受到選擇部位的影響。