產(chǎn)品頻道

      單極性ZCS1100和雙極性ZNXsensor電容傳感器是一種非接觸式的傳感器。兩個(gè)傳感器的板形成一個(gè)平行板電容器，每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不同的測(cè)量范圍；具有納米級(jí)分辨率，且不受電磁感應(yīng)導(dǎo)致的信號(hào)滯后影響（零磁滯）。

電容傳感器主要應(yīng)用領(lǐng)域：壓電微位移、薄膜厚度檢測(cè)、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。

主要技術(shù)指標(biāo)：

量程：20~1250um；

分辨率<0.1nm；零磁滯；

線性度最高0.02%；

頻帶可調(diào)范圍：50~5000Hz；

靈敏度可調(diào)；

真空兼容選項(xiàng)。

      ZCS1100是一個(gè)單一的通道，高性能線性位移測(cè)量系統(tǒng)，創(chuàng)新的電容位移測(cè)量技術(shù)，提供了納米測(cè)量能力，成本低，適合測(cè)量任何導(dǎo)電目標(biāo)。

應(yīng)用領(lǐng)域

      壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。