產(chǎn)品頻道

      高精度直線光柵

      由于Renishaw的先進(jìn)刻劃工藝，用于FASTRACK的RTLC和RTLA柵尺具有±5 µm/m的給定精度，無(wú)需補(bǔ)償。 更令人耳目一新的是，實(shí)際安裝精度典型情況下接近于±2 µm/m；就性能指標(biāo)而言大大領(lǐng)先于對(duì)手。 此外，利用Renishaw的XL-80校準(zhǔn)激光干涉儀進(jìn)行簡(jiǎn)單的兩點(diǎn)補(bǔ)償，線性誤差得到了嚴(yán)格控制，

      曲線圖顯示了在未經(jīng)補(bǔ)償?shù)那闆r下RTLC和FASTRACK的典型精度結(jié)果。

     測(cè)量?jī)?yōu)勢(shì)
      FASTRACK的典型設(shè)計(jì)能夠在極高的加速度負(fù)載下使柵尺保持原有位置，大大減少了兩個(gè)部件之間的摩擦力，因此允許柵尺在規(guī)定的膨脹系數(shù)范圍內(nèi)自由膨脹。 因此滯后也保持在最低水平……在整個(gè)工作溫度范圍內(nèi)，采用中心固定的2 m軸上的滯后僅為1 µm！

      FASTRACK的另一個(gè)獨(dú)特的測(cè)量?jī)?yōu)勢(shì)是夾緊方法，即將柵尺鎖定到底板的單個(gè)點(diǎn)上，而柵尺不發(fā)生變形；與用在傳統(tǒng)托架形光柵上的夾具相比，這是一項(xiàng)重大改進(jìn)。 此種方法使系統(tǒng)構(gòu)造器可以將柵尺固定在機(jī)器的理想位置上，而不會(huì)影響該區(qū)域的精度；此特性對(duì)于中心固定高精度軸尤其重要。

      改進(jìn)的運(yùn)動(dòng)控制性能
      TONiC采用新一代創(chuàng)新光學(xué)濾波系統(tǒng)，噪聲（抖動(dòng)）更低，包括自動(dòng)增益控制和自動(dòng)偏移量控制在內(nèi)的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理使其功能更強(qiáng)大，因此具有極佳的可靠性和抗污染能力。 超低電子細(xì)分誤差 (SDE) 可實(shí)現(xiàn)更為平穩(wěn)的速度控制，掃描性能及位置穩(wěn)定性均獲得提高。 1 nm版本的TONiC（2009年9月起有售）具有額外的降噪能力，實(shí)現(xiàn)令人稱(chēng)奇的0.5 nm RMS的抖動(dòng)水平。

      RESOLUTE的優(yōu)異性能是成熟、可靠和完全獨(dú)創(chuàng)的工作方法的成果。 可以將RESOLUTE當(dāng)成超高速微型數(shù)碼相機(jī)，對(duì)由長(zhǎng)的非重復(fù)條形碼組成的柵尺進(jìn)行拍照。 RESOLUTE對(duì)這些照片進(jìn)行分析，確定位置，分辨率可達(dá)1 nm，噪聲（抖動(dòng)）和SDE（電子細(xì)分誤差，一個(gè)柵距周期內(nèi)的誤差）都很低。 這可以提供極高保真度的光柵反饋，確保更平穩(wěn)的速度控制和超強(qiáng)的位置穩(wěn)定性。

      極佳的堅(jiān)固性！
      FASTRACK特別設(shè)計(jì)用于柵尺易損的應(yīng)用場(chǎng)合。 FASTRACK和柵尺均為硬化不銹鋼材質(zhì)，可以抵抗跌落的玻璃、刀具或其它意外撞擊所帶來(lái)的損壞。 即使出現(xiàn)損壞，成熟的光學(xué)技術(shù)和極高的抗污能力也能確保對(duì)信號(hào)水平的影響微乎其微。