產(chǎn)品頻道

1．白光測(cè)量?jī)x的簡(jiǎn)介： 　 白光表面形狀精密測(cè)量?jī)x采用光學(xué)干涉技術(shù)，精密測(cè)量樣品的表面形狀分布。它可廣泛用于測(cè)量MEMS基板，半導(dǎo)體集成電路基板以及平板顯示器面板等樣品的表面三維立體形狀的微細(xì)結(jié)構(gòu)。與同類測(cè)量?jī)x器相比，具有下列特征： ◆非接觸、非破壞測(cè)量 ◆高速測(cè)量, 最高速度可達(dá)60μm/s ◆高穩(wěn)定性，可用于生產(chǎn)線的實(shí)時(shí)測(cè)量 ◆高精度，可以測(cè)量各種臺(tái)階、溝槽等復(fù)雜表面結(jié)構(gòu) ◆高效能，可同時(shí)測(cè)量透明膜上下表面結(jié)構(gòu) ◆應(yīng)用范圍廣，既可適于測(cè)量規(guī)整的表面形狀（玻璃、硅片等），也可適于測(cè)量不規(guī)整的表面形狀（紙類、金屬、塑料等） 2．白光測(cè)量?jī)x的性能參數(shù)： 儀器型號(hào) 　　 PR-L05 II型 測(cè)量范圍 　　10mm 測(cè)量原理 　　白光干涉法 垂直分解能 　　 <10nm 水平分解能 　　0.43μm 測(cè)量面積 　　≥185×140μm 測(cè)量重復(fù)性 　 ≤2 % @1σ （標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階） 垂直掃描速度 　 標(biāo)準(zhǔn)為30μm/s