產(chǎn)品頻道

公司自主研制的0.1微米級精密運動平臺及集成控制系統(tǒng)是微電子制造和測試設備的核心部件，也是生物醫(yī)療設備和精密制造業(yè)發(fā)展的關鍵部件，這些產(chǎn)品在以上領域的應用可以極大提高我國的制造水平，縮小和先進國家的差距。 此類平臺是以下行業(yè)的關鍵部件： 　　◇半導體、集成電路封裝測試裝備　　◇生物工程科研設備　　◇醫(yī)療診斷儀器設備　　◇精密微型制造機械（MEMS） 高精度空氣軸承（Air Bearing）平臺性能指標 　　◇分辨率: 10 nm （納米）　　◇重復性精度 : 50 nm 　　◇定位精度: 0.1 micron（微米）　　◇最大加速度 : 　　◇最大速度: 500 mm/sec（毫米/秒）　　◇設計行程: 高精度、高動態(tài)直線軸承平臺（Cross Roller）性能指標 　　◇分辨率 : 50 nm （納米）　　◇重復性精度 : 250 nm 　　◇定位精度 : 1 micron（微米）　　◇最大加速度 : 16 Gs（重力加速度）　　◇最大速度 : 1000 mm/sec（毫米/秒）　　◇行程 : <= 100x100 mm︿2，因設計要求不同而可以定制