

ABL9000
企業(yè)信息
普通會員第12年
公司類型:代理商
主運(yùn)營:運(yùn)動控制,平臺,轉(zhuǎn)臺,伺服電機(jī)
所在地區(qū):深圳市
注冊時(shí)間:2014-06-23
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產(chǎn)品新聞
產(chǎn)品介紹
ABL9000氣浮平臺
1世上最高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機(jī)驅(qū)動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um

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