產(chǎn)品頻道

電容微位移傳感器是通過改變電容兩極板間的電荷實現(xiàn)測量的。常用的方法有三種：變極板間距離的變極距型；改變極板面積的變面積型；還有就是改變介質(zhì)介電常數(shù)的變介質(zhì)型?，F(xiàn)在所介紹的是變極距型的電容微位移傳感器。

壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。

該電容微位移傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不用的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。

量程20～1250μm；

分辨率<0.1nm；零磁滯；

線性最高0.02%；

頻帶可調(diào)：50～5000Hz；靈敏度可調(diào)；

真空兼容選項；