

歐姆龍開發(fā)MEMS絕對壓力傳感器
企業(yè)信息
普通會員第20年
公司類型: 生產(chǎn)商 系統(tǒng)集成商
主運營:傳感器、工廠信息識別系統(tǒng)、變送器、繼電器
所在地區(qū):上海市
注冊時間:2006-03-21
歐姆龍株式會社研發(fā)了一款新型“絕對壓力傳感器”(※1),該傳感器能夠準確檢測出50cm高度范圍內的氣壓變化。絕對壓力傳感器應用了歐姆龍核心技術之一的MEMS技術,實現(xiàn)了世界頂級水平的高精度和低電流消耗,將于2013年1月開始發(fā)售。
該絕對壓力傳感器,實現(xiàn)了CMOS回路與MEMS傳感器的工藝整合,實現(xiàn)了長3.8mm×寬3.8mm、厚0.92mm的小型封裝,更易于應用在移動電話等小型設備中。
適用于智能手機或運動計量器(※2)等機器的電池驅動部件,有利于延長電池的壽命。將該傳感器應用于運動計量器上,可以測算出上下樓梯等存在高度差的運動形式數(shù)據(jù),解決一直以來的難題。而應用于汽車導航系統(tǒng)上,可以確保在立體停車場導航的精準度以及識別一般道路和高架路。另外,由于能測定感知房門開啟或窗戶破碎等情況下產(chǎn)生的氣壓變化,也可應用于安保領域。
此外,CMOS?MEMS一體化晶片也可銷售,旨在滿足與其他傳感器安裝在同一主板上等需求。
今后,歐姆龍將憑借獨有的MEMS技術持續(xù)為社會做貢獻。
本產(chǎn)品將于7月11日(周三)至7月15日(周五)在東京國際展覽中心舉辦的“第23屆微機械/MEMS展”上展出。
商品詳情請登陸網(wǎng)站了解(http://www.omron.co.jp/ecb/index.html)。
(※1)絕對壓力傳感器,指以真空為0基準的壓力檢測傳感器。
?。ā玻┯袆e于普通的計步器,不僅可計量步數(shù),也用于計量中強度、低強度運動量及生活中的運動量(使用于掃除機、搬運輕量物品、烹飪等)的測量儀器。
■特點
1.小型封裝:長3.8mm寬3.8mm高0.92mm。
?。玻⌒托酒篊MOS回路與MEMS傳感器一體化,長1.9mm、寬1.9mm、厚0.5mm。
?。常?00~1100hPa的廣泛測量范圍
?。矗鄬毫冗_到相當于約50cm高度差所造成的氣壓變化6pa。
?。担?.5~9.5uA的低電流消耗有利于延長電池壽命。(※3)
?。叮畠群瑴囟葌鞲衅鳎軌蜉o助修正因傳感器周圍溫度變化所造成的氣壓變化。
?。罚捎肐2C輸出方式,可串聯(lián)通信。
?。ā常┫碾娏饕蕾囉跍y定條件及動作模式。
■技術解說
1.檢測原理
本公司的MEMS絕對壓力傳感器采用了針對血壓計中壓力傳感器研發(fā)的壓敏電阻方式。壓敏電阻方式,是使用了通過加載在電阻元件上的力度變化所產(chǎn)生的電阻變化即壓電效應,通過這一原理將壓力轉化為電流信號。
并且,為了測定大氣壓力變化,絕對壓力傳感器采用MEMS接合技術,將傳感器芯片的內部進行真空密封。因此,能夠感知與真空狀態(tài)相比較大氣壓力的數(shù)值,也就是絕對壓力值。
2.技術特長
該傳感器,將本公司長年研發(fā)的各種技術功能集中在一個芯片中,包括半導體回路設計技術、CMOS工藝技術、MEMS技術、壓力傳感器、模擬增幅回路、數(shù)字處理回路、不揮發(fā)性存儲等。因此,實現(xiàn)了芯片的小型化、高機能化、耐噪性能的提升。
此外,該傳感器使用MEMS接合技術,可擴大傳感器芯片內部的真空室容量,將傳感器的輸入動態(tài)范圍最大化。從而實現(xiàn)高精度。
3.測定結果
結果能夠達到50cm的判別。
■傳感器外觀
■詳細咨詢方式
歐姆龍電子部件貿易(上海)有限公司
市場部
上海市浦東新區(qū)浦東南路999號新梅聯(lián)合廣場27樓
TEL:021-68595919

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