陶氏電子材料新推出可稀釋硅溶膠研磨液,降低制程缺陷程度

時(shí)間:2011-02-22

來(lái)源:網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)載

導(dǎo)語(yǔ):作為全球半導(dǎo)體行業(yè)在化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)的技術(shù)方面的領(lǐng)導(dǎo)者和創(chuàng)新者,陶氏電子材料近日推出新一代KLEBOSOL II 1630研磨液……

      作為全球半導(dǎo)體行業(yè)在化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)的技術(shù)方面的領(lǐng)導(dǎo)者和創(chuàng)新者,陶氏電子材料近日推出新一代KLEBOSOL II 1630研磨液,這是一種進(jìn)階的可稀釋的研磨液,它綜合了硅溶膠研磨液和氣相二氧化硅研磨液的優(yōu)點(diǎn)。KLEBOSOL 研磨液是為先進(jìn)半導(dǎo)體制造技術(shù)而研發(fā)的,它為CMP提供了一種性能卓越,低耗材成本的產(chǎn)品。

      “KLEBOSOL 膠粒二氧化硅研磨液具有優(yōu)異的制程穩(wěn)定性,而且缺陷程度低。”陶氏電子材料的全球研磨液市場(chǎng)行銷總監(jiān)亞撒山田先生說(shuō):“我們正在努力將現(xiàn)場(chǎng)使用點(diǎn)(POU結(jié)構(gòu))的固含量降至更低的水平,以減少最終用戶的耗材成本?!贝诵乱淮腒LEBOSOL 研磨液兼具硅溶膠的性能優(yōu)勢(shì)與氣相二氧化硅典型的研磨和稀釋能力。我們的客戶對(duì)這種新型的研磨液非常感興趣,它適用于大量生產(chǎn)制造。

      KLEBOSOL II 1630研磨液中含有加長(zhǎng)列形硅溶膠顆粒。該產(chǎn)品將硅溶膠的高穩(wěn)定性,處理簡(jiǎn)易特性以另一種新的形貌結(jié)合在一起,這種新的形貌可以提供與氣相二氧化硅相似的研磨功能,并且可稀釋。這使得KLEBOSOL II 1630在極具成本競(jìng)爭(zhēng)力的同時(shí)還能保有硅溶膠研磨液的特性,這些特性包括優(yōu)異的移除率穩(wěn)定性,低缺陷率,高研磨能力以及嚴(yán)整的制程控制等。

      KLEBOSOL II 1630研磨液,提供了更低的POU結(jié)構(gòu)固含量基準(zhǔn),且可使用0.3微米的POU過(guò)濾方式。該產(chǎn)品使用簡(jiǎn)單,且在高剪應(yīng)力情況下可以防止凝聚形成。此外,與氣相二氧化硅相比,由于硅溶膠對(duì)研磨墊表面的微觀粗糙度的影響較小,因此可以顯著地延長(zhǎng)研磨墊的使用壽命,進(jìn)而可以使最終用戶減少研磨墊修整器的使用。

中傳動(dòng)網(wǎng)版權(quán)與免責(zé)聲明:

凡本網(wǎng)注明[來(lái)源:中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng)]的所有文字、圖片、音視和視頻文件,版權(quán)均為中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng)(www.wangxinlc.cn)獨(dú)家所有。如需轉(zhuǎn)載請(qǐng)與0755-82949061聯(lián)系。任何媒體、網(wǎng)站或個(gè)人轉(zhuǎn)載使用時(shí)須注明來(lái)源“中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng)”,違反者本網(wǎng)將追究其法律責(zé)任。

本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明其他來(lái)源的稿件,均來(lái)自互聯(lián)網(wǎng)或業(yè)內(nèi)投稿人士,版權(quán)屬于原版權(quán)人。轉(zhuǎn)載請(qǐng)保留稿件來(lái)源及作者,禁止擅自篡改,違者自負(fù)版權(quán)法律責(zé)任。

如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

關(guān)注伺服與運(yùn)動(dòng)控制公眾號(hào)獲取更多資訊

關(guān)注直驅(qū)與傳動(dòng)公眾號(hào)獲取更多資訊

關(guān)注中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng)公眾號(hào)獲取更多資訊

最新新聞
查看更多資訊

熱搜詞
  • 運(yùn)動(dòng)控制
  • 伺服系統(tǒng)
  • 機(jī)器視覺(jué)
  • 機(jī)械傳動(dòng)
  • 編碼器
  • 直驅(qū)系統(tǒng)
  • 工業(yè)電源
  • 電力電子
  • 工業(yè)互聯(lián)
  • 高壓變頻器
  • 中低壓變頻器
  • 傳感器
  • 人機(jī)界面
  • PLC
  • 電氣聯(lián)接
  • 工業(yè)機(jī)器人
  • 低壓電器
  • 機(jī)柜
回頂部
點(diǎn)贊 0
取消 0