中國(guó)電科承擔(dān)的國(guó)家重大科技專項(xiàng)——極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)課題之一的300mm多線切割機(jī)近日研制成功。該設(shè)備研制成功，打破了國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線上運(yùn)行的12英寸多線切割機(jī)全部為進(jìn)口設(shè)備現(xiàn)狀。該設(shè)備具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。目前，中國(guó)電科已經(jīng)初步形成了601太陽(yáng)能多線切割機(jī)、300mm多線切割機(jī)等系列化的多線切割設(shè)備，占據(jù)了國(guó)內(nèi)線切割技術(shù)的制高點(diǎn)，滿足了不同行業(yè)、不同規(guī)模客戶的不同需要。
該項(xiàng)目是由中國(guó)電科自行設(shè)計(jì)、配套，克服了斷線、移動(dòng)臂移動(dòng)失位、鋼絲帶不進(jìn)砂漿等實(shí)際問(wèn)題，一次性切割出400多片滿足生產(chǎn)線要求的12英寸硅片。
300mm多線切割機(jī)技術(shù)可應(yīng)用到太陽(yáng)能電池行業(yè)，可一次性切割156mm×156mm的硅片5000—6000片。目前，中國(guó)電科已與全球最大的太陽(yáng)能硅片企業(yè)簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，進(jìn)行大線鋸的研發(fā)，2011年6月前后完成商業(yè)機(jī)型的生產(chǎn)線工藝驗(yàn)收。
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