中國首臺代表國際尖端水平的薄膜太陽能電池關鍵生產(chǎn)設備——等離子體增強型化學氣相沉積設備（PECVD）日前在上海成功下線，被視為我國在新能源高端裝備領域取得的重大突破。“中國造”的PECVD性能領先于國外同類產(chǎn)品，價格大幅低于后者，國內薄膜太陽能電池產(chǎn)業(yè)化進程有望提速。
　　據(jù)悉，由上海理想能源設備公司研制并首次下線的等離子體增強型化學氣相沉積設備，是制造非晶微晶疊層薄膜電池最關鍵的設備。采用非晶微晶疊層硅薄膜太陽能電池結構不僅提高轉換效率，而且克服只有非晶硅薄膜的低轉換效率和較嚴重的光致衰減效應。理想能源的PECVD采用了創(chuàng)新的超高頻射頻技術、精密的真空和溫度控制技術，快速的自動傳輸技術，和多腔多片的反應腔系統(tǒng)，大大提高了產(chǎn)能，其產(chǎn)品性能優(yōu)越，而售價遠低于同等的進口設備。
　　據(jù)上海市經(jīng)濟信息化委有關負責同志介紹，2010年上海太陽能光伏產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)快速發(fā)展，將達到130億元產(chǎn)業(yè)規(guī)模，比去年增長62.5%。尚德“冥王星”、晶澳“賽秀”等一批高效太陽能電池產(chǎn)業(yè)化項目在滬實施擴產(chǎn)計劃。該市全市已形成太陽能電池或組件產(chǎn)能超過1.7GW，比2009年增長150%。尚德“冥王星”高效太陽能晶硅電池、晶澳、中電擴產(chǎn)高效太陽能電池組件等一批項目加快建成；產(chǎn)業(yè)能級不斷提升，太陽能薄膜核心設備技術實現(xiàn)首臺業(yè)績等一批重大技術形成突破。產(chǎn)業(yè)基地建設和招商引資成果顯著，奉賢、浦東、閔行、松江等區(qū)進一步加大了新能源產(chǎn)業(yè)基地建設力度，引進了一批新能源高新技術產(chǎn)業(yè)化項目，總投資超過100億元。
　　在太陽能光伏產(chǎn)業(yè)鏈上，關鍵設備的制造處于最高端，是有效降低成本，立足于國際太陽能光伏市場，實現(xiàn)太陽能發(fā)電大面積推廣的關鍵所在。上海通過積極推進高新技術產(chǎn)業(yè)化，大力扶持光伏設備國產(chǎn)化，并將之作為該市經(jīng)濟結構調整和產(chǎn)業(yè)轉型升級的重要舉措。由資深留美博士錢學煜等領銜，聚集20多名曾服務于國際一流企業(yè)、具有豐富經(jīng)驗的設備、工藝和管理專家，于2009年8月成立理想能源設備制造有限公司，成為光伏設備國產(chǎn)化的“先行者”。